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美国断供芯片,俄罗斯决定从头打造光刻机

发布于:2024-06-28 编辑:匿名 来源:网络

*转载文章不代表本站观点。

本文来自微信公众号“量子比特AI”(QbitAI) 作者:杨净、明敏全能芯片被美国制裁后,俄罗斯要造先进工艺光刻机? !是的,它是芯片制造中最核心的设备(连一台都没有)。

全球只有ASML一家公司有能力生产最先进的EUV级别。

能卖到上亿人民币,核心技术被美国垄断。

雕刻机。

而且,这次俄罗斯的计划看起来有点像那样——有人、有钱、有目标。

该项目由俄罗斯莫斯科电子技术学院(MIET)承担,该学院被誉为苏联硅谷中心,专门研究微电子学。

资金,初始投资6.7亿卢布。

目标是挑战目前最先进的EUV(极紫外)水平。

△28nm只有懂的人。

但即便如此,因为光刻机的制造难度和俄罗斯的资源储备,网友们还是不相信这个消息:确定不是玩笑? !无独有偶,就在这一消息发布的前一天,俄罗斯最大芯片制造商Mikron遭到美国制裁。

此前,俄罗斯其他几家芯片厂也遭到了全方位制裁。

那么目前俄罗斯芯片的水平如何呢?我们真的能有信心研发出先进工艺的光刻机吗?无掩模X射线光刻机?我们先来看看这个计划本身有多困难。

据俄罗斯媒体报道,俄罗斯工贸部委托MIET研发“无掩模X射线光刻机”,与我们日常提到的EUV光刻机有点不同。

第一个区别是光源的选择。

一是波长为13.5nm的极紫外光; X射线的波长在0.01nm到10nm之间。

按照目前普遍的思路,光刻机让特定波长的光通过掩模板进行放大,然后通过透镜的缩小,将集成电路图精确地“投影”在硅片上。

为了准确地“投影”,光刻机需要实现极高的曝光分辨率和极高的重复定位精度。

前者最有效的方法之一是改变光源的波长。

根据光学中的瑞利准则,光学系统可以分辨的尺寸与光的波长成正比。

因此,从理论上和光刻机的历史发展(波长越来越短)来看,X射线光刻机显然比EUV光刻机更好、更先进。

但由于其穿透性太强,无法用普通镜头放大或缩小,因此现阶段无法实现投影光刻。

目前的应用更多在于直写光刻,这也是俄罗斯计划——无掩模版的选择。

这种方法其实已经存在很长时间了,就是直接用强激光束一点一点地雕刻出所需要的电路。

这个效率确实有点低。

如果想刻纳米级集成电路,就得等到年底了。

至于以EUV为代表的投影光刻机,他们认为成本高、工艺复杂,仅在量产时具有竞争力,因此只适合英特尔、三星、台积电等少数全球公司。

△X射线反射系数控制的无掩模X射线光刻安装方案 从这一点来看,无掩模光刻本身并不困难,但难点在于X射线技术和效率的提升。

然而,目前世界上还没有一个机构可以解决这个问题。

这就是他们提出这个计划的原因。

按照计划,他们将完成主要技术方案——基于动态掩模模型制造的验证和两项对照实验研究。

动态掩模的技术和模型最早将于今年11月开发出来,以及原型光刻机的技术规格和可行性研究。

工艺必须达到28nm及以上。

△X射线透过率控制的无掩模X射线光刻安装方案。

除此之外,官方并未透露该计划的更多细节。

“全世界都在帮助荷兰的 ASML。

”读完计划本身,我们就能理解为什么更多人仍然充满疑问:在俄罗斯建造光刻机可靠吗?毕竟俄罗斯有很多高科技,但总是雷大雨小……不过,也有人说,俄罗斯黑科技的难点在于缺乏资金和工业基础,也不一定落后理论上。

这种光刻机的研发计划,其相关研究可以追溯到20世纪80年代。

当时,他们已经在研究光源的生产。

2000年,泽列诺格勒科学中心受政府委托开始同步辐射加速器的研制。

这个研究所有相当的背景。

后来并入著名的库尔恰托夫研究所。

苏联第一颗原子弹、第一颗氢弹、欧洲第一座原子反应堆、世界上第一座原子能电站都出自该所。

的。

但美好的时光并没有持续多久。

这台加速器的研究在发射四年后一度暂停,直到2018年才再次投入试运行。

现在,俄罗斯计划基于这些技术积累,围绕这台加速器建设一个技术中心,预计将2020年正式投入使用。

至于无掩模光刻机,他们其实一开始就没有选择这条道路,甚至一度与ASML平起平坐。

早在 2018 年,当 ASML 发货第一台预生产 EUV 光刻机时,俄罗斯物理研究所 IPM(RAS)也在开发 EUV 系统和组件,以及构建设备原型。

开发人员还提出了辐射源设计的原创解决方案,其中一些也应用于ASML光刻机。

然而,这个项目在布局阶段就结束了。

俄罗斯科学院首席研究员、苏联国家奖获得者、多层X射线光学系主任萨拉琴科·尼古拉透露了原因:一个国家无法独自完成这项工作。

全世界都在帮助荷兰(ASML在荷兰)。

于是,他们开始寻找其他路径,无掩模光刻机上的迭代工艺就是其中之一。

之所以让MIET承接该项目,是因为MIET在之前与一些机构的合作中,已经在无掩模EUV光刻机方面取得了研究进展。

2007年,MIET成立了一个主要从事纳米电子器件研究的研究中心。

研究领域包括X射线器件、微机电系统和纳米机电系统——这些技术与光刻机的发展密切相关。

并开展了一些研究,如“基于微聚焦X射线管阵列、适用于10nm无掩模光刻机的软X射线源的研制”就是其中之一。

该研究由 RAS 微结构物理研究所的 Nikolay Chkhalo 教授领导。

现任研究所实验室主任,发表论文多篇。

他的主要研究领域是X射线光学、光学干涉测量等。

综上所述,从理论基础来看,俄罗斯发展光刻机并不能说完全不靠谱。

不过,值得一提的是,俄罗斯媒体在近期的报道中也直言,光刻机计划晚了15年。

如果这个计划早在15年前就启动的话,或许俄罗斯现在就不会面临如此大的微电子技术威胁。

最大的芯片厂商只能做公交卡芯片。

值得注意的是,就在消息广泛传播之前,美国财政部宣布将冻结21家俄罗斯实体和13名个人在美国的资产。

一家芯片厂公司进入了大家的视野。

Mikron,俄罗斯最大的芯片制造商、微电子制造商和出口商。

而这意味着俄罗斯芯片工厂几乎受到了全线制裁。

所以现在公布这个光刻机计划,一方面对俄罗斯来说是一剂强心剂。

另一方面,从目前俄罗斯芯片的水平来看,更是迫在眉睫。

以Mikron为例。

从官网给出的产品目录可以看出,该公司最高可以做到65nm工艺,主要生产银行卡、公交卡等RFID和电源管理芯片。

它还创造了许多第一:第一家/90/65nm工艺制造商、第一家身份证件芯片模块制造商和出口商,占俄罗斯微电子产品出口的54%。

这家公司的历史可以追溯到20世纪60年代的前苏联分子电子研究所(NIME)。

当时,微电子技术正在如火如荼地发展。

苏联国家技术委员会认识到建设微电子工业的必要性,开始大规模组建研究所和工厂。

尼姆就是其中之一。

不到两年(年)的时间,实验车间生产的微电路产量就达到了10万片。

第二年,根据政府命令,Mikron工厂从该研究所剥离出来,专门生产集成电路。

当时很多技术都是国内首创,比如砷化镓微电路平面技术、发射极耦合逻辑IC晶体、大规模数值模拟集成电路……2016年,Mikron已经为各行业制造了1万多台。

微电路电源后来被应用于国防、超级计算机等领域。

在整个半导体产业中,苏联的微电子技术位居世界第三,仅次于美国和日本。

可以说,此时的Mikron正乘着时代之风,快速前行。

然而,随着苏联的解体,这种势头很快就戛然而止——几乎所有的苏联计算机制造商都停止了运营,只有少数公司通过外国零部件/技术转让生存下来。

Mikron就是其中之一。

2016年,Mikron开始引进海外技术——意法半导体技术转让,赋予其生产纳米芯片的能力。

并于2008年开始生产nmEEPROM集成电路。

随即,Mikron开始生产接触式智能卡的芯片模块,并很快掌握了RFID交通卡的整个生产流程,并开始向莫斯科地铁站供应。

同年,它还开始为电信行业生产SIM卡。

或许是尝到了甜头,Mikron再次与意法半导体展开技术转让合作。

据《半导体国际》当时报道,该公司打算每年更新新一代工艺,并计划分别在2019年和2020年推出nm和90nm工艺。

不过,根据官网记录,Mikron2016年才实现在毫米晶圆上采用90纳米工艺的集成电路生产和设计,当年才正式启动90纳米微电子产品的生产。

从此,俄罗斯成为世界上第八个拥有这项技术的国家。

与西方相比,已经远远落后。

此时,俄罗斯政府开始意识到微电子产业的重要性。

一是制定了《年电子工业发展规划》、《国防工业综合体发展规划》等多项产业发展战略,并积极采取了尽可能使用国产电子产品、发展民用和军用两条线CPU等一系列措施。

使用。

Mikron也相应改变了路线,开始致力于90纳米国产技术和独特产品的自主研发,并创造包括65纳米-45纳米级别在内的新技术。

2017年,美国的经济制裁,包括对敏感科技行业的攻击,让本已脆弱的俄罗斯芯片制造业雪上加霜。

即使在2016年,Mikron也勉强完成了65纳米工艺的研发。

但随后就没有关于流程迭代的消息了。

现在从规模上来说,Mikron的业务辐射全球,确实是俄罗斯最大的芯片制造厂。

不过,能生产的产品已经敲定了——交通和门禁RFID、物联网数据保护微控制器、智能水表等。

俄罗斯芯片工厂几乎全线受到制裁。

如前所述,俄罗斯芯片制造商几乎全部受到美国的制裁。

不仅是最大的芯片制造商Mikron,另一家制造商Angstrem-T甚至曾经破产过一次。

还有设计厂商贝加尔电子、MCST等,都受到了制裁的严厉处罚,进进出出“实体名单”……这些企业打造的俄罗斯半导体产业目前水平如何,是什么情况? ,我们也借此机会来看看。

贝加尔电子我们先来看看贝加尔电子,该公司号称是俄罗斯技术最先进的芯片设计制造商。

在最新一轮制裁名单中,其母公司T-Platforms被显着列入其中。

贝加尔电子能够实现的工艺是28nm。

它最初基于 MIPS 架构。

近两年改用ARM,支持运行俄罗斯操作系统Astra Linux。

其最近发布的处理器为Baikal-S,拥有48核,基础频率2.0GHz,最大加速2.5GHz,热设计功耗W,还集成封装了自研的RISC-V架构协处理器。

除了母公司受到制裁外,贝加尔电子还面临芯片无法出货的问题。

贝加尔电子的芯片一直是台积电代工的。

在美国公布最新一轮制裁名单之前,台积电已表示将不再为俄罗斯企业生产芯片,贝加尔电子首当其冲。

与Mikron同样有着悠久历史的芯片制造厂Angstrem-T曾于2016年受到制裁,损失惨重。

当时Angstrem-T能生产的最高工艺是纳米级。

相比之下,三星今年已经开始量产 7nm 芯片。

由于制裁影响,Angstrem-T陷入债务危机,2008年被俄罗斯国家开发银行VEB.RF收购; 2008年,Angstrem-T正式宣布破产重组。

但就在去年,该公司出现了复苏的迹象。

据报道,他们高薪聘请了十几位专家,帮助重启Angstrem-T生产线。

它还计划从AMD购买设备来生产90纳米芯片。

MCST最后介绍了芯片设计厂商MCST(莫斯科SPARC技术中心),MCST成立于2001年,前身是列别捷夫精密机械与计算机工程研究所。

其Elbrus处理器包括两个产品线,一个是民用,其架构基于Elbrus架构(俄罗斯版X86);另一个是民用,其架构基于Elbrus架构(俄罗斯版X86);另一种是军用的,其架构基于SPARC,也是台积电生产的。

目前产品能达到的最高制程工艺是16nm。

但该系列芯片在实际测试中表现不佳。

去年年底,俄罗斯最大银行Sber的技术部门在测试Elbrus-8C后给出了这样的评价:内存不足、内存速度慢、核心数少、频率低、完全不能满足需求。

7万名IT人员逃离俄罗斯终于回来了。

截至3月31日,美国披露的最新制裁名单涉及21个实体和13个个人。

白宫当天还表示,未来几天将把一个俄罗斯和白俄罗斯实体添加到名单中,范围将扩大到包括航空航天、航运和电子行业。

从目前来看,第一波制裁的影响已经远远超出了芯片行业。

俄罗斯版的Google Yandex就是其中的代表之一。

其业务包括搜索引擎、云服务、网约车等。

美国断供芯片,俄罗斯决定从头打造光刻机

据报道,由于进出口限制,Yandex将在未来1-18个月面临服务器硬件短缺的情况,其自动驾驶业务也将面临挑战。

受到严重打击。

为此,他们正在寻求重组以降低制裁风险。

同时,其仍在与俄罗斯最大社交网络运营商VK进行谈判,计划出售其新闻部门和Zen社交平台,或剥离其自动驾驶业务。

更深远的影响还体现在人才方面。

据报道,从2月底至今已有7万名IT技术人员离开俄罗斯。

俄罗斯通信协会也承认这一事实,并表示4月份出境IT人员数量可能达到10万人。

不过,俄罗斯官方始终予以回应。

除了上述大力投资光刻机研发外,路透社近日报道称,俄罗斯正在向中国微芯片制造商供货,主要是为了解决其当地MIR支付系统相关的银行卡需求。

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