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售价上亿，这台荷兰进口的光刻机上金贵在哪里？

发布于：2024-06-18 编辑：匿名来源：网络

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不久前，一台价值1.06亿元的设备从荷兰空运抵达厦门。

由于其价值较高，该设备对储存和运输的要求非常高——必须保持23℃的恒温。

为了避免影响设备的精度，对运输过程中的稳定性也有极高的要求。

因此，机场海关通过停机坪检查对货物实施全程机侧监管。

货物被装上专用温控气垫车，在海关停机坪视频监控探头下移动。

紧急检查完毕后，当晚就放行了。

那么什么样的设备如此受到机场海关的热切期待，单价过亿元呢？什么是光刻机？光刻机是芯片制造的核心设备之一。

按用途可分为几种：有用于生产芯片的光刻机；有用于生产芯片的光刻机；有用于封装的光刻机；还有用于LED制造领域的投影光刻机。

用于生产芯片的光刻机是中国半导体设备制造的最大短板。

国内晶圆厂所需的高端光刻机完全依赖进口。

厦门企业从荷兰进口的光刻机用于芯片。

生产设备。

在高端光刻机方面，除了龙头ASML之外，尼康、佳能也做了光刻机，尼康还获得了英特尔的订单。

然而近年来，尼康面对ASML却无力还手。

高端光刻机市场基本被ASML占领——就连尼康最新的Ar-F浸没式售价也低于ASML Ar-F浸没式D的平均售价，即使售价一半也无法挽救局面。

为什么？一方面，英特尔新任CEO上台后，不再延长与尼康的D合同，导致尼康失去了一个大客户。

另一方面，也与尼康自身技术实力不足有关。

尼康的光刻机相比ASML有很多缺陷，操作系统上设计的架构也有缺陷。

而且，尼康光刻机的实际性能与尼康官方宣传的有所不同。

差距很大，这使得台积电、英特尔、三星、格罗方德等主要晶圆厂商不可能仅仅为了省点钱而出售有缺陷的产品。

目前尼康的高端光刻机基本都被ASML打败了。

主流半导体生产线上只有少数低端、老式光刻机仍然是尼康或佳能。

剩下的基本都是ASML把持。

一定程度上来说，尼康的光刻机只有卖得超便宜才能抢占市场。

那么，它卖得多便宜呢？从数据上看，ASML的EUV NXE B单价超过1亿美元，ArF Immersion的价格在1万美元左右。

相比之下，尼康光刻机的单价仅为ASML价格的三分之一。

光刻机工作原理上图是ASML光刻机的介绍图。

下面，对图中各设备的功能进行简单介绍。

测量台和曝光台：是承载硅片的工作台。

激光器：即光源，光刻机的核心设备之一。

光束矫直器：纠正光束的入射方向，使激光束尽可能平行。

能量控制器：控制最终照射到硅片上的能量。

曝光不足或曝光过度都会严重影响成像质量。

光束形状设置：将光束设置为圆形、环形等不同形状。

不同的光束状态具有不同的光学特性。

快门：在不需要曝光时防止光束照射到硅片上。

能量检测器：检测光束最终入射能量是否满足曝光要求，并反馈给能量控制器进行调整。