室内地图数据服务商Mapxus获300万美元融资，Sky Ventures领投
06-18
投资圈（ID：pedaily）9月4日消息，半导体设备关键部件射频和等离子系统供应商上海励兆科技宣布完成数千万元Pre-A轮融资，并邀请前爱思强中国总经理宋伟以副总裁身份加入创业团队。
Monolith Capital、中芯聚源、临港创投参与了本轮投资。
励兆科技成立于2018年8月，位于上海市闵行区。
是专注于半导体工艺设备领域的射频及等离子系统供应商。
励兆科技创始团队来自国内外知名大学和研究机构。
他们拥有多年先进半导体设备的开发经验和十多年的射频电源系统的开发和制造经验。
他们在基础研究、产品开发、工艺应用和市场拓展方面拥有丰富的经验。
有着深厚的积累。
该公司的首席科学家是副教授/上海交通大学博士生导师。
曾在美国顶尖大学从事高频电力电子研究。
该公司的副总裁宋伟是爱思强中国的前总经理，毕业于北京航空航天大学。
在加入励兆科技之前，他曾在Varian、AMAT、MKS、Kateeva、AIXTRON等多家欧美知名公司工作。
行政职位，例如中国的总经理或销售总监。
励兆科技主要产品为等离子射频电源及其配套系统和远程等离子源（RPS）系统。
这些产品的基本功能是在相关半导体工艺设备中产生等离子体并实现各种相关工艺。
针对这些技术要求，励兆科技在成立一年内就开发出了13.56MHz系列和KHz系列射频电源产品。
功率可调精度0.1瓦、脉冲频率2Hz～50KHz等关键性能参数达到国际先进水平。
占空比1%-99%，结合独特的MOFT调频功能（面向模型的自动调频技术），可实现亚毫秒级高速阻抗匹配，可有效满足多种需求的进程。
国内首家为蚀刻、原子层沉积等先进工艺提供选择。
同时，在远程等离子体源（RPS）领域，公司正在开发可应用于12英寸晶圆剥离/氧化/清洗等工艺领域的产品。
预计年底前将样品发送给重点客户进行测试。
励兆科技创始人赵奎表示，励兆科技团队在射频、电力电子、控制和算法技术方面有着深厚的积累和完整的布局。
高频电力电子属于射频技术的一种，其人才在全球范围内非常稀缺。
半导体射频电源需要兆赫级电力电子技术。
公司核心成员从2000年起就深入从事该领域的研究，是全球为数不多的华人专家之一。
该公司副总裁宋伟表示：“在半导体行业的安全要求和市场实际需求的背景下，射频等离子体领域需要一支高素质、高效率的科学家团队，尽快突破国内技术天花板”尽可能挑战并最终超越国际市场的技术领先者。
”因此，在最初的产品开发成功后，他加入了励兆科技，希望凭借自己丰富的市场应用经验推动励兆的快速发展。
励兆团队表示，在当前复杂的国际形势下，亟待从根本上解决国产半导体设备的整体供应链安全问题。
励兆科技的愿景是凭借扎实的产业技术背景，打造世界一流的中国射频等离子解决方案公司。
Monolith Capital表示，射频电源是产生等离子体的核心器件，高性能大功率射频电源是国产化先进制造工艺的必备设备。
目前射频电源几乎完全依赖进口，急需国产化。
励兆科技是国内为数不多的国际领先研发团队之一，在上下游产业也有着深厚的积累，这对于攻克技术难题、顺利商业化有很大帮助。
丽思看好射频电源国产化前景，相信励兆未来能成为行业标杆。
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