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江苏鲁汶仪器完成新一轮融资，中科创兴领投

发布于：2024-06-18 编辑：匿名来源：网络

据投资界4月21日消息，高端半导体设备企业江苏鲁汶仪器完成过亿元B轮融资。

本轮融资由中国科创兴领投，中济资本、中誉资本、向晖资本、红星美凯龙、中捷投资等多家投资机构跟投。

老股东汉唐周本轮继续投资数千万元。

融资资金将主要用于团队建设、设备快速研发与迭代、市场拓展与备货等。

鲁汶仪器成立于2001年，创始团队主要由资深半导体技术与设备专家专家组成来自国内外知名半导体设备研究或生产机构。

在半导体刻蚀设备及工艺开发，特别是磁性材料刻蚀方面具有深厚的技术积累。

他对eclipse技术有着独特的理解。

鲁汶仪器创造性地提出了ICP+IBE+PECVD多腔刻蚀技术解决方案，结合鲁汶仪器专利的腔体在线清洗技术。

得到了国内外多家顶尖研发机构和生产公司的高度评价。

有望解决困扰行业的磁性薄膜材料刻蚀问题，为MRAM存储器的大规模量产提供可靠、经??济的刻蚀解决方案。

中科创兴投资总监卢小保认为，存储器是半导体中最大的细分领域，占半导体市场份额的1/3。

MRAM等新兴存储器在功耗、读写速度、寿命、非易失性、工艺可靠性等方面具有显着优势。

它在小型化、可靠性等各方面都具有明显的优势，有望取代DRAM甚至部分取代SRAM成为通用存储器类型。

目前，STT-MRAM已经开始在嵌入式存储器领域发展。

江苏鲁汶仪器完成新一轮融资，中科创兴领投

台积电、三星、格罗方德等领先企业均发布了嵌入式STT-MRAM工艺。

SOT-MRAM的研发进展顺利，有望成为真正的通用存储器。

MRAM的核心难点在于薄膜沉积和磁性材料刻蚀，尤其是磁阻隧道结的刻蚀，是困扰业界的最大难题。

目前业界还无法提供理想的蚀刻解决方案。

鲁汶仪器创造性地提出了多腔刻蚀+腔在线清洗技术，有望率先解决MRAM器件刻蚀的技术瓶颈，为MRAM存储器的大规模量产提供解决方案。

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