投资界(ID:pedaily)据3月29日消息,青峰资本近日正式完成对国内高端芯片企业徐州博康的投资半导体光刻胶生产商。
完成投资数千万元。

徐州博康成立于2007年,专注于中高端光刻胶及相关原材料的研发和制造,致力于推动半导体关键材料国产化。
公司生产基地位于江苏邳州,在上海松江设有独立的研发中心。
目前,徐州博康已实现“单体-树脂、光酸-光刻胶”的全国化生产和全产业链布局,拥有ArF/KrF光刻胶单体、ArF/KrF光刻胶、G线/I-线等产品。
线路光刻胶和电子束光刻胶覆盖集成电路制造、后端封装、化合物半导体、分立器件、电子束等市场应用。
研发储备了全球80%的光刻胶单体产品技术,其中KrF光刻胶单体占全球20%以上的份额。
在半导体光刻胶领域,徐州博康已开发出26种高端ArF光刻胶。
其中,通孔工艺使用的ArF湿法光刻胶可应用于40nm/28nm工艺节点,是国内首款国产化产品。
ArF湿式通孔光刻胶;已开发出30种高端KrF光刻胶,其中主要用于剥离工艺的金属剥离负光刻胶,底部倒角可控。
是目前国内唯一能够提供该类型KrF的产品。
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