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专注碳化硅外延炉，纳舍智能完成数千万元天使轮融资

发布于：2024-06-18 编辑：匿名来源：网络

投资界消息（微信ID：pedialy），深圳市纳舍智能装备有限公司（简称“纳舍”）智能”）近日完成数千万元天使轮融资，由东方富海管理的中小企业发展基金（深圳南山有限合伙）与老股东深圳嘉源资本共同投资。

本轮融资将用于第三代半导体碳化硅化学气相沉积外延设备（简称“碳化硅外延炉”，如图1）的产品研发、工艺验证、市场推广及技术团队扩充。

纳舍智能成立于今年10月，位于深圳市光明区留学生创业园。

近日已通过国家高新技术企业预审。

公司拥有一支包括高层领导在内的研发团队，致力于第三代半导体等先进材料领域高端装备的制造。

纳舍智能专注于碳化硅产业链中关键的碳化硅外延炉。

该设备的关键难点在于高温，需要接近oC。

所需的反应室材料、温度控制、气体控制、抗污染、工艺等都面临着挑战，纳舍智能团队已经掌握了相应的自主创新技术方案，并可以实现产业化。

公司研发团队主要行业经验包括MOCVD设备、刻蚀设备、纳米材料等各类半导体设备及工艺的开发及市场推广。

拥有深厚的技术积累和丰富的行业资源；在先进设备的产品化和市场推广方面拥有丰富的经验。

平均拥有十年以上的实践经验。

成立仅一年时间，团队就顺利完成了包括国内首台开放式卷对卷石墨烯化学气相沉积设备在内的四台设备的设计、组装和调试，实现了24小时连续不间断生产石墨烯。

开放条件。

、碳纳米管等先进薄膜材料，该技术实现了全球最低的CVD石墨烯薄膜生产成本；此外，还销售了三台科研级CVD设备。

本轮融资将支持纳舍智能技术团队实现第三代半导体碳化硅高温化学气相沉积外延装备高质量产业化，满足第三代半导体产业爆发式增长和重大自主可控技术升级。

围绕需求，帮助攻克新材料先进装备核心技术难点，开发国内领先、世界一流的碳化硅外延装备，实现下游产业化应用。

同时，纳舍智能也在不断扩大团队规模，吸收和培养更多的半导体专业技术研发人才，打造一流的人才聚集地。

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