道为有道完成近千万元天使轮融资
06-18
原创：半导体核心技术SiSC 据统计，近年来全球MEMS市场以10%的年复合增长率增长，预计今年全球传感器市场将逼近万亿级别年。
我国传感器产业年均复合增长率达30%，远高于全球平均水平。
随着5G通信的逐步落地以及各类智能终端、无人驾驶汽车、可穿戴设备等技术的快速发展，AIoT的应用场景越来越多，其传感触角已延伸到各个领域。
大数据、云计算等业务需要各种传感器实时采集各种数据来支持。
MEMS作为智能设备的关键部件和物联网采集信息的终端工具，是智能制造发展的基础和核心。
MEMS技术决定了整个智能物联网产业的水平。
MEMS设计、研发和制造的创新已成为业界高度关注的领域。
MEMS（微机电系统）是一种以半导体制造技术为基础，采用光刻、蚀刻、薄膜等一系列工艺和材料，采用精密加工技术制造微型化机械电子器件的先进制造技术平台。
MEMS生产涉及微电子、材料、机械、化学、机械等多学科领域，以及微观尺度的力、电、光、磁、声、表面等物理学分支。
我国MEMS产业已形成从研发、设计、生产到应用的完整产业体系，但总体与国际先进水平还存在差距。
高端智能传感器近80%依赖进口。
我们的产业基础大但不强，缺乏关键核心技术支撑。
这就是我国限制高端传感器发展的原因。
MEMS是设计、材料、工艺和其他技术的结合。
它需要多学科的人才。
包括中国在内的国家正在潜心研究，推动技术进步。
目前，微型化、智能化、低功耗MEMS传感器已成为主流，这需要更高的MEMS制造工艺、晶圆级封装、软件算法等软硬件集成能力。
为此，本次以“MEMS创新发展与应用”为主题的精彩会议由雅石国际商报主办，会议媒体杂志《半导体芯科技》、CHIP中国在线研讨会协办。
▲第十届精心在线研讨会——直播截图讲师精彩回顾本次第十届精心研讨会，我们邀请了美国AMS中国区负责人刘丹，以及西南科技大学研究员、微系统中心主任高高，博士生导师。
杨、奥初光电科技（杭州）有限公司创始人兼CEO吴亮和华东光电集成器件研究院研究员詹明浩分别从MEMS衬底材料、AlN压电薄膜技术和设备、高性能SAW谐振器研发、MEMS惯性器件研发及趋势与大家分享。
会议在ACT雅氏商报社长、《半导体芯科技》出版总监麦燮林先生的致辞中拉开帷幕，网上观众报以经久不息的掌声。
演讲结束后，我们进入了精彩的专家报告环节。
在这2小时的直播过程中，共有10名观众报名参与，10人上线参与，10+人参与互动讨论，10+人点赞。
在线观众受益匪浅。
▲第十届晶芯在线研讨会-现场截图 华东光电集成器件研究所研究员詹明浩 ▲第十届晶芯在线研讨会-现场截图第一位演讲人，华东光电集成器件研究所詹明浩研究员研究院，是我们分享的《MEMS惯性传感器发展现状、趋势及应用》主题报告。
随着微电子技术和精密加工技术的进步，最初的结构传感器逐渐发展为现在的MEMS传感器。
在MEMS惯性传感器研发和制造方面，华东光电集成器件研究所积累了大量经验。
詹明浩研究员详细介绍了MEMS加速度计、陀螺仪等惯性器件的工作原理、工作方法、发展历史和应用领域。
对同类惯性器件MEMS产品与非MEMS产品进行了对比，以及它们在不同应用场景下的优势。
在消费类应用领域，惯性器件呈现高集成化趋势——多轴集成、小型化、低功耗等。
在高精度惯性器件方面，国外主要掌握较多核心技术。
例如，BOEING的嵌套环MEMS陀螺仪，精度为0.01℃/h； Draper实验室发布了一款精度为0.5ug的谐振加速度计。
最后，詹老师介绍了华东光电集成器件研究院在惯性器件方面的科研实力、制造能力及相关产品。
高阳 西南科技大学研究员、微系统中心主任、博士生导师 ▲第十届晶心在线研讨会-直播截图 第二位主讲人，西南科技大学研究员、微系统中心主任高阳博士生导师，与大家分享《高性能SAW谐振器研究进展分析 》主题报告。
在我国，高端微声射频滤波器技术是我国急需攻克的核心技术。
微型声滤波器是当前射频信号路径中的主流器件，主要包括表面声波（SAW）滤波器和体声波（BAW）滤波器。
我国是全球最大的手机生产国，但在微声射频滤波器领域实现技术自主可控还有很大的发展空间。
高性能SAW谐振器是SAW射频滤波器的核心部件。
谐振器的性能直接决定滤波器的性能。
高性能SAW谐振器也是各种新型SAW传感器的基本部件，也决定了这些传感器的性能。
高性能SAW谐振器的开发需要波导层压电材料和匹配基板的选择。
在本次演讲中，高阳先生从AlN基新型波导层压电材料体系和异质声层（Hetero Acoustic Layer）结构基板两个方面进行了阐述，介绍了高性能声表面波谐振器的进展，并分析了其发展逻辑。
傲智光电科技（杭州）有限公司创始人兼CEO吴亮▲第十届晶芯在线研讨会-直播截图第三位演讲者，傲智光电科技（杭州）有限公司创始人兼CEO吴亮给大家分享的主题是《AlN/AlScN材料制备技术及其MEMS应用前景展望》主题报告。
传统压电材料在MEMS高温传感器领域高温稳定性较差，而在5G射频前端滤波领域则在高频、大带宽、低温漂等方面存在瓶颈。
开发基于AlN/AlScN的高质量薄膜材料可以克服上述痛点。
AlN/AlScN具有超带隙、高热导率、高击穿场强、高热稳定性以及高声表面和体波传播速率等优异性能。
是MEMS、紫外光电传感器件、高功率/高频/高温电子器件理想的衬底材料，也是5G射频前端SAW/BAW/FBAR器件的核心材料。
制备AlN/AlScN基高性能射频滤波器器件，高质量的AlN/AlScN薄膜是基础。
在本次演讲中，吴亮博士对制备AlN/AlScN薄膜材料的相关工艺、优缺点以及目前进展进行了分析比较，并介绍了奥楚尔光电采用一系列颠覆性技术制备的硅基/蓝宝石基AlN。
流程。
/AlScN薄膜材料的最新进展，及其在SAW/BAW/FBAR和高温MEMS领域的应用前景进行了展望。
Advanced Modular Systems, Inc. 中国区负责人刘丹 ▲ 第十届晶信在线研讨会 - 直播截图 第四位演讲者，Advanced Modular Systems, Inc. 中国区负责人刘丹与大家分享，主题是《AMS Magnetron Deposition and Ion Mill Trimming for Mass-production for BAW Devices and MEMS》主题报告。
随着5G通信技术的发展，其核心部件之一的射频滤波器对高性能、小尺寸、大容量的要求越来越高。
我们不仅要创新设计理念，在制造方面也要创新，ASM Coating设备提供的AlN压电薄膜可以实现这个从原理到制造的过程。
作为全球首家用于FBAR量产的AlN压电薄膜镀膜设备供应商，AMS见证了全球BAW/SAW行业的发展。
是目前全球唯一一家同时拥有薄膜沉积（Film Deposition）和微调/调频（Trimming）的公司。
）作为两大技术的设备供应商，可以将Deposition和Trimming两种工艺技术集成在同一台设备上。
两种技术相辅相成，所产生的工艺效果是无与伦比的。
目前，国产设备仍在不断进步。
我们必须借鉴国外成功经验，引进先进设备，加快国产射频滤波器的发展。
感谢您对本次会议的大力支持。
4月13日，春暖花开之际，CHIP中国研讨会诚挚邀请您来到深圳国际会展中心希尔顿酒店，“芯片”齐聚大湾区，分享创意与理念。
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