近日,韩媒报道韩国半导体晶圆研磨抛光设备制造商NTS将于5月发布8英寸半导体晶圆研磨设备“EdgeGrinder”,可研磨晶圆。
外径被精确加工成任何所需的形状。
此前,NTS已发布6英寸晶圆研磨设备。
据了解,NTS成立于2007年,是一家主要生产LED晶圆研磨抛光设备的韩国设备公司。

NTS计划成为一家专注于前处理和后处理包装设备业务的公司。
目前,NTS为三星电子、首尔半导体、LG Display、欧司朗、华灿光电等公司提供设备。
据韩国媒体报道,NTS宣布将于5月完成新型晶圆研磨设备“EdgeGrinder”的开发。
新设备采用金刚石磨盘对8英寸晶圆的外径和边缘进行磨削。
通过新设备的研磨,可以将晶圆精确加工成客户所需的尺寸和形状。
NTS新型研磨设备的重要特点之一是它可以最大限度地减少影响晶圆生产过程质量的振动或负载。
NTS总经理表示,新型研磨设备“EdgeGrinder”采用精密CCD传感器,能够准确识别晶圆位置和晶圆形状。
,客户可以通过工件旋转来定位晶圆,并通过精密旋转将设备负载降至最低,因此“EdgeGrinder”的生产效率和速度优于其他设备制造商。
另外,NTS总经理透露,NTS目前正在推动8英寸研磨设备的业务发展,希望通过更高的产能和更低的价格扩大NTS在半导体研磨设备的市场份额。
据悉,NTS此前已量产6英寸研磨设备“EdgeGrinder”,目前该6英寸研磨设备已供应给中国半导体晶圆公司华夏半导体。
韩媒透露,近期NTS 6英寸设备的订单有所增加。
今年上半年,NTS将向晶圆制造商供应约30台设备,销售额预计将达到7至80亿韩元。
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