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中国电子科技成功制备4英寸氧化镓单晶

发布于：2024-06-06 编辑：匿名来源：网络

近日，中国电子科技四十六所经过多年探索氧化镓晶体生长技术，通过改善热场结构、优化晶体生长工艺，有效解决了晶体生长工艺问题。

生长气氛和晶体生长过程。

为了解决原料分解、多晶形成、晶体破裂等问题，采用导模法成功制备出高质量的4英寸氧化镓单晶。

中国电子科技成功制备4英寸氧化镓单晶

氧化镓是一种新型超宽带隙半导体材料，适合制造高电流密度功率器件、紫外探测器、发光二极管等。

但由于氧化镓属于单斜晶系，具有以下特点：氧化镓熔点高、高温分解、易裂解，制备大尺寸氧化镓单晶极其困难。

中电四十六所制备的氧化镓单晶宽度接近毫米，总长度达到毫米。

可加工4英寸晶圆、3英寸晶圆、2英寸晶圆。

经检测，该晶体具有良好的晶体品质，将为国内相关器件的发展提供有力支撑。

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