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Labtech发布电感耦合等离子体三重四极杆质谱仪，可提高芯片良率

发布于：2024-06-06 编辑：匿名来源：网络

Labtech 据Labtech 3月12日晚间发布的公告，3月10日，北京莱博泰克仪器有限公司正式发布了电感耦合等离子体三重四极杆质谱仪。

耦合等离子体三重四极杆质谱仪 LabMS ICP-MS/MS 专为半导体行业开发和生产。

据介绍，LabMS ICP-MS/MS采用工业标准27MHz固态发生器，具有极高的系统稳定性；采用MS/MS模式实现可控、可靠的干扰去除，准确去除质量干扰离子，从而获得较低的检测限和准确的超痕量分析结果；低本底惰性进样系统集气体稀释和充氧功能于一体，大大拓展了检测应用范围；智能软件平台HiMass适合实验室的各种分析需求，大大提高工作效率。

LabMS ICP-MS/MS可用于监测半导体硅材料、第三代半导体材料、湿电子化学品、电子特种气体、工艺溶剂/光刻胶等无机元素污染，已通过半导体行业SEMI S2和SEMI E78认证，帮助半导体芯片制造商控制产品质量并提高良率。

Labtech表示，新产品的发布进一步丰富了公司分析测试仪器产品线，拓宽了公司产品的应用领域，有利于巩固和提升公司的核心竞争力。

Labtech发布电感耦合等离子体三重四极杆质谱仪，可提高芯片良率

目前，新品已订购并发货。

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