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06-17
据投资界(ID:pedaily)10月9日消息,普林科技(杭州)有限公司(以下简称普林科技) “普林科技”)近期完成数千万元天使轮融资,由峰瑞资本独家投资;本轮融资主要用于补充团队人员、完善量产纳米压印设备研发、建设纳米压印材料生产线。
纳米压印技术出现于2000年,当时DUV光刻遇到了纳米分辨率的技术瓶颈。
为了突破这一瓶颈,美国工程院院士、美籍华人科学家周郁(Stephen Y. Chou)教授(Stephen Y. Chou)首先提出了基于聚合物成型技术的方法。
一种新型超高分辨率(<10nm)纳米结构制造技术——纳米压印技术。
普林科技成立于2006年,主要生产研发纳米压印设备及材料。
该公司的创始人、首席科学家、葛海雄和教授都向发明人·周郁院士学习了纳米压印技术。
他们从事纳米压印技术研究20多年,开发了旋涂紫外固化纳米压印工艺和材料。
系统。
与光刻技术相比,纳米压印具有工艺相对简单、成本低廉、分辨率超高分辨率、可制造3D复杂纳米结构、功能材料直接成型、无需开发等技术优势。
纳米压印仍在发展中。
近年来,日本佳能集团开发出可量产集成电路芯片的步进纳米压印技术。
已成功将纳米压印技术应用于15nm工艺的3D NAND存储芯片。
其子公司“铠侠科技”完成了相关产品的研发和中试。
此外,SK海力士还计划从佳能引进纳米压印设备,并利用该设备于年内开始量产3D NAND闪存。
芯片制造和未来量子芯片将是纳米压印的核心应用场景。
此外,纳米压印技术还可应用于微纳结构光学、AR/VR、蓝宝石图案化基板、生物芯片、超级透镜、光子芯片等领域。
普林科技技术团队已形成完整的纳米压印技术体系,并与合作伙伴一起实现了8nm周期、4nm线宽的超高分辨率压印,证明纳米压印技术的分辨率可用于未来集成电路制造。
对更小线宽的需求。
普林科技自主研发了纳米压印核心技术,希望推动纳米压印技术的产业化应用。
普林科技可为用户提供针对不同应用领域、场景和需求的定制化高针纳米压印。
产品和技术服务。
据普林科技创始人及CEO邓萌萌介绍,普林科技是目前国内市场上唯一一家能够整合纳米压印设备、材料和工艺的纳米压印高端微纳制造供应商。
纳米压印闭环解决方案 在设备方面,普林科技拥有针对不同场景的纳米压印设备,包括科研桌面型、半自动研发型、全自动量产型以及压印配套设备。
在晶圆半导体纳米压印系统材料方面,普林科技拥有完整的纳米压印胶体系,包括近30种半导体刻蚀材料、光学应用材料、结构转移材料、表面处理材料、模具复制材料等纳米压印相关材料;在所有纳米压印材料工艺方面,除了传统的热压印和UV固化压印工艺外,普林还拥有复合聚合物模板复制技术、无残留层纳米压印技术、曲面纳米压印技术、双转移层纳米压印技术、双转印层纳米压印技术、室纳米压印技术等多项自主研发的纳米压印核心工艺。
无残留层纳米压印技术普林科技创始人及CEO邓萌萌表示,公司相关业务板块已与国内多家半导体、光学、显示、AR/VR等行业领先企业合作,提供相关技术解决方案。
此外,普林研发团队正积极将普林科技独特的纳米压印技术引入半导体制造、LED芯片、光学芯片等高端制造行业。
纳米压印技术在全球范围内仍处于尝试量产阶段,设备良率、压印均匀性等问题尚未得到有效解决。
普林科技首席科学家葛海雄教授表示,目前业界对纳米压印技术的了解还不够充分。
一些海外纳米压印技术公司在产业化应用方面进展较多,并非技术本身的选择。
最佳技术路线已确定,部分关键技术存在先天缺陷。
如果国内企业仅从快速产业应用的角度进行模仿,很可能将纳米压印技术的应用引入歧途。
即使在研发过程中发现了很多疑难工艺问题,但也缺乏专业的解决能力。
在葛海雄和教授看来,纳米压印技术需要上游技术供给方和下游应用方不断积累、打磨、合作,最终发展出成熟的纳米压印产业链,而不至于弯道超车。
目前,公司技术研发团队拥有10余名具有纳米压印技术行业经验的博士。
技术人员来自普林顿大学、南京大学、中国科学技术大学、北京大学等,从事纳米压印设备制造和材料技术。
我们拥有丰富的行业开发和行业应用经验;同时,团队正在加速扩张,引进包括半导体机械研发、设计、电气软件、装备制造、化工生产等行业的行业精英。
公司目前拥有团队20余人,研发及工程相关技术人员占比90%以上。
锋锐资本副总裁颜前航表示:“纳米压印是一种基于物理成型方法实现纳米级图案转移的微纳加工技术。
自2008年被发明以来,学术界和工业界一直在尝试将其应用于IC领域和其他微纳米级应用。

近年来,纳米压印在微纳光学器件和生物芯片中的大规模应用,为这一前沿技术的快速市场化奠定了基础。
在海外,佳能对纳米压印的持续研发投入,使其应用??于闪存芯片的工业化生产,取代了传统的光刻工艺,展现了纳米压印在IC领域替代光刻技术的潜力。
前景广阔。
普林科技核心创始团队不仅拥有国内乃至全球纳米压印技术顶尖知识,还具备集设备、胶粘材料、工艺为一体的全流程研发和量产能力。
锋锐始终看好微尺度观测、处理和控制技术的前沿发展和应用。
我们相信,普林在核心团队的不懈坚持下,能够为纳米压印规模化带来更高品质、更高效率、更低成本。
为行业带来量产解决方案。
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