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06-08
泛林研究院技术研讨会：携手学术界和工业界共同探讨推动全球半导体产业发展。
2019年9月12-13日，林研技术研讨会在清华大学召开。
作为学术界和工业界的联合研讨会，会议邀请了林氏集团、清华大学、麻省理工学院、斯坦福大学、加州大学伯克利分校、西部数据等全球知名学者和行业专家共同探讨半导体产业链。
从材料、设备、器件到电路应用，对整个产业链进行了探讨。
面对行业新挑战，合作必须跨越国界、跨学术界。
林氏集团技术研讨会每年都会举办，今年是第二届。
研讨会的目的是通过交流和讨论激发大家的创造力，共同应对行业面临的新问题和挑战。
林集团执行副总裁兼首席技术官Richard A. Gottscho博士表示：面对半导体行业的新挑战和困难，我们必须跨越国家和学术界限进行合作，营造多元化的学术氛围。
林氏集团希望与半导体行业的世界知名学者、供应商、客户以及客户的客户合作，互相启发，提出新的见解和想法。
清华大学微电子研究所所长魏少军教授认为，泛林集团技术研讨会有几个特点：一是作为技术研讨会，它聚焦于国际上最前沿的技术，但它不是一个纯粹是学术会议，而是学术界和工业界的联合会议；其次，清华大学、麻省理工学院、斯坦福大学、加州大学伯克利分校都是世界著名大学，在微电子领域取得了巨大的成就。
四所大学齐聚一堂共同探讨前沿科学问题实属罕见；第三，研讨会不仅从工艺和器件的角度审视半导体产业，还连接了从材料、设备、器件到电路应用的产业链。
，就全产业链进行讨论，包括人工智能发展、人才培养等话题。
“我个人认为林氏集团技术研讨会是世界上有关半导体基础技术、制造和电路技术的最高水平的研讨会之一。
希望这次研讨会能够长期举办，成为具有国际影响力的研讨会。
” 魏少军教授表示。
林集团执行副总裁兼首席技术官Richard A. Gottscho博士和清华大学微电子研究所所长魏少军教授表示，“在全球范围内，林集团与许多顶尖的大学，涉及的项目很多，得到的结果也各不相同。
通过一些项目，我们极大地改进了我们的流程、产品设计和服务；一些合作项目让我们获得了新的想法和见解，让我们进一步发挥我们的创造力；和一些项目，我们注重加强自身的人才储备，招募世界一流的人才来支持公司的长期发展。
” Gottscho博士表示，“林氏集团与清华大学有着非常悠久的合作历史。
除了每年在清华大学举办讲座外，为了帮助清华大学培养优秀的半导体技术人才，林氏集团还在清华大学微电子与纳电子学系设立了“林氏集团-清华大学微电子论文奖”。
清华大学每年提供17个奖学金名额。
此外，我们还向清华实验室捐赠了设备。
目前，有多名清华大学毕业生在林氏集团工作。
展望未来，我们希望进一步加强与清华大学的合作，开展更多的合作项目。
魏少军教授也表达了对双方合作的看法。
“对于清华大学来说，我们更看重与泛林集团的技术交流。
”今天的研讨会是一种交流。
此外，林氏集团技术人员和清华大学师生也将互访。
双向的交流带来了产学界的知识更新和碰撞，我们觉得这是更有价值的。
”魏教授表示，“我们之所以选择与林氏集团合作，是因为林氏集团的领导层有沟通的愿望和开放的心态。
我们可以就具体的技术问题进行深入的讨论，这对清华大学的师生来说都是有益的。
很多。
同时，林氏集团还可以通过交流了解中国半导体产业的发展和技术进步。
有时我们也会开展小型合作项目，共同开发特定技术。
因此，我们的合作不仅仅局限于人才和奖学金，更重要的是理念和技术创新能力的合作。
“原子层刻蚀和原子层沉积技术的发展日趋成熟。
范林集团执行副总裁兼首席技术官Richard A. Gottscho博士就范林集团的原子层刻蚀（ALE）和原子层沉积技术发表演讲对此，Gottscho博士介绍了ALD和ALE技术的进展和未来发展趋势。
原子层沉积比原子层刻蚀诞生得更早，因此技术更成熟、更普及，但原子层刻蚀的应用也在不断扩大。
” Gottscho表示，“技术普及主要面临两个挑战，一是生产的吞吐量，二是总拥有成本。
这两个方面都在不断改进，我们不断推出新版本的原子层蚀刻和原子层沉积技术，有时会基于新的设计架构来进一步成熟和发展这两种技术。
“此外，我们越来越多地将这两种技术集成在一起，以在一个工艺室中实现原子层沉积和原子层蚀刻工艺。
对于一些传统产品，我们可以在刻蚀室中实现原子层沉积，或者在沉积室中实现部分原子层刻蚀功能。
” Gottscho 博士补充道，“我们最初认为使用这两种技术可以实现两个好处。
一方面包括硅晶圆级和器件级均匀性的提升，另一方面则是选择比的提升。
但在实践中我们发现除了这两点之外，还有其他意想不到的好处，比如产品的破损率会降低，粗糙度会进一步降低。
随着粗糙度的进一步降低，EUV（极紫外光）所使用的功率可以降低，因此EUV技术的性价比将会提高。
这是目前的发展趋势。
“全球化是半导体行业发展不可阻挡的趋势。
”就整个半导体行业而言，我们面临着很多挑战。
研讨会上有演讲者提到，半导体行业此前有一套技术发展路线图，称为半导体国家技术路线图（NTRS），该路线图会标明下一个技术节点的时间以及每个节点对尺寸和精度的影响。
要求。
现在这样的路线图已经不存在了，一些人对此感到悲观，觉得我们未来的发展没有方向。
但其实这是一个很好的改变，意味着我们会探索不同的路径，会有更多的可能和机会去发挥我们的创造力，让整个行业发展得更快，也能让未来五到十年人工智能的应用。
其中的应用程序将启动得更快。
” Gottscho博士表示，“总体来说，半导体产业的发展对其他产业起到了基础支撑作用。
无论是医疗、汽车还是航空航天，都可以从半导体行业的发展中受益。
”魏少军教授强调：半导体是全球性产业，任何国家都不可能闭门造车发展。
我们必须实事求是地看待中国半导体产业的发展，不能夸大或贬低。
希望大家能以理性的态度看待。
——对外合作，好技术无国界，半导体技术的发展最终将惠及世界各国。
从当前产业发展来看，全球化的趋势势不可挡，这对中国来说也是一个重要机遇。
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