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Plessey 选择 AIX G5+ C MOCVD 工具进行硅基氮化镓单片 microLED 显示创新

发布于：2024-06-06 编辑：匿名来源：网络

英国普利茅斯：屡获殊荣的光电技术解决方案的领先开发商 Plessey 宣布已收购 AIXTRON SE（FSE：AIXA）。

下一个反应器已从 AIXTRON SE 订购，AIXTRON SE 是半导体行业沉积设备的全球领先供应商。

AIX G5+C 金属有机化学气相沉积 (MOCVD) 反应器将提高 Plessey 制造硅基氮化镓 (GaN-on-Si) 晶圆的能力，目标是下一代 microLED 中的应用。

新型 AIXTRON 爱思强反应炉配备自动盒到盒 (C2C) 晶圆传输模块，将于 2020 年第一季度在 Plessey 位于英国普利茅斯的 2 平方英尺制造工厂投入运行。

AIX G5+C MOCVD 系统具有两个独立的腔室设置选项，可在封闭的盒式环境中自动从系统中加载和移除 8 x 6 英寸或 5 x 8 英寸 GaN-on-Si 晶圆配置。

该系统将补充该公司现有的金属有机化学气相沉积 (MOCVD) 反应器（同样由 AIXTRON 爱思强提供），并提供 7 x 6 英寸或 3 x 8 英寸手动装载配置。

新型反应器的自动化自清洁技术进一步提高了生产率，通过确保反应器每次运行都是清洁的，有助于实现极低水平的晶圆缺陷。

这显着减少了在配方运行期间和之间需要定期清除残留物以及其他反应器的维护停机时间。

新设备还提供更快的升温和冷却以及较高的基础卸载温度，以减少配方时间。

AIX G5+C 反应器将支持 Plessey 的广泛生产路线图，以提高基于其专有的 GaN-on-Si 技术的单片 microLED 研发能力。

Plessey 的 microLED 具有极低的功耗、高亮度和极高的像素密度，可能会破坏使用 LCD 和 OLED 等传统显示技术的多种现有应用。

Plessey 的使命是成为世界领先的公司，为显示引擎和全场发射 microLED 显示器开发创新照明。

这些复杂的设备将高密度 RGB 像素阵列与高性能 CMOS 背板相结合，为头戴式显示器和用于增强和虚拟现实的可穿戴电子设备提供高亮度、低功耗和高帧速率的图像源。

系统。

AIXTRON 欧洲副总裁 Frank Schulte 博士表示：“我们相信 AIX G5+C 将最佳地支持 Plessey 的要求，满足最严格的 microLED 生产要求。

该工具提供更高效的配置，同时满足硅行业对均匀性的要求Plessey 首席运营官 Mike Snaith 解释说：“我们与 AIXTRON 爱思强的持续且宝贵的合作伙伴关系使 Plessey 能够快速将其单片 microLED 推向市场。

”所有权——对于制造 microLED 所涉及的高效大批量硅基氮化镓 microLED 显示器至关重要。

为了应对各种挑战，包括大批量和经济高效的生产能力，Plessey 积极与潜在客户合作，使用其尖端的可量产 microLED 技术平台。

Plessey 选择 AIX G5+ C MOCVD 工具进行硅基氮化镓单片 microLED 显示创新

### 关于 Plessey Plessey 是英国领先的先进光电技术解决方案开发商。

该公司为各种光电器件和系统提供独特且专有的硅基氮化镓平台批量处理。

Plessey 总部位于英国普利茅斯，拥有最先进的毫米和毫米晶圆加工设施，可处理产品设计、测试和组装，以及一整套光子学表征和应用实验室。

Plessey 是一家屡获殊荣的创新照明（DMD 和 LCOS）和用于显示引擎的全场发射 microLED 显示器的供应商，该显示器将超高密度 RGB 像素阵列与高性能 CMOS 背板相结合，可产生极其明亮、低功耗的图像以及用于头戴式显示器 (HMD)、增强现实 (AR) 和虚拟现实 (VR) 系统的高帧率图像源。

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