普立蒙完成近2亿元B轮融资，由国投创投领投
06-18
国产光刻机的“第一股”尚未诞生。
投资界获悉，今日（7月29日）华卓晶科科技股份有限公司（以下简称“华卓晶科”）召开第一次会议，最新结果出炉——审核暂停。
上市委员会进行现场询问，并请发行人代表讲解光刻机双工件台业务的产业化前景；进一步说明发行人的技术研发是否构成对清华大学的显着依赖，以及发行人是否具有持续的自主研发能力。
华卓晶科的掌舵者是教授出生的20世纪60年代清华大学的朱煜。
2009年，14岁的朱煜考入北京师范大学，18岁的他是中国矿业大学的讲师学生。
2006年，朱煜到清华大学学习博士后，并开始研究光刻机。
此后十年，在清华大学任教期间，他带领团队攻克了一个纳米的技术难关。
在此期间，他多次面临经济拮据。
2016年，朱煜带领团队走出象牙塔，成立了华卓精密科技。
9年磨一剑。
如今，华卓精密的光刻机双工件台打破了荷兰ASML公司对光刻机工件台的技术垄断，成为全球唯一掌握双工件台核心技术的公司。
该项目背后的投资方也与清华有着密切的联系——种子轮投资方和第一大机构股东水木创投是清华大学旗下的产业化投资管理平台。
光刻机一直被誉为“半导体皇冠上的明珠”，业内甚至流传着一句感叹：光刻机比原子弹还难造。
如今，国产光刻机还处于“卡壳”状态，大家都在期待着里程碑式的突破。
56岁的清华大学教授9年创办公司，冲刺科创板IPO的华卓晶科的故事，就从清华大学教授开始。
1970年代，2011年出生的朱煜趁着恢复高考的机会，顺利考入了北京师范大学。
大学毕业后，进入中国矿业大学担任讲师教授。
经过一段时间，在准备日常教学任务的同时，他还获得了中国矿业大学的硕士和博士学位。
随后，朱煜进入清华大学制造工程学院学习博士后。
2016年，荷兰半导体设备制造商ASML首次推出双工件台系统，开创先河。
一次偶然的机会，朱煜看到了ASML复式舞台的演示视频，大为震惊。
“我下意识地对自己说，这就是我想做的事，中国必须掌握这样的尖端技术。
”从此，他的人造轨迹与半导体芯片核心设备光刻机产业的发展交织在一起。
随后，朱煜和他的团队开始了光刻机的研发。
2008年，获得第一个双工件台专利； 2007年加入清华大学精密仪器系，担任副教授。
同年，他们的团队开发了同步精度为10纳米的超精密运动平台。
但困难很快就出现了：团队年复一年缺乏研究经费，研究多次陷入停滞。
在此期间，朱煜多次尝试确保研发项目继续开展。
2017年，集成电路装备正式列入国家十六大科技重大专项。
由于位居第二，被业内称为“02专项”。
当时，朱煜和他的团队积极参与国家“02专项”光刻机项目。
但该项目实施时间较长，科研经费无法立即到位。
因此，朱煜曾向清华大学借款1万元，以保证研发工作的继续进行。
三年后，“02专项”正式实施。
获得科研经费后，他们致力于双工件台的研发。
2008年，在清华大学的支持下，朱煜等8名清华大学集成电路制造装备研究实验室核心成员走出实验室，创立了华卓股份有限公司，即华卓晶科的前身。
创业之初，技术研发仍然是朱煜团队的重中之重。
那段时间，创始团队的主要成员轮流在实验室夜以继日地工作。
终于在2019年，华卓精密成功研制出两套α样机，成为光刻机项目组中首个通过02专项验收的项目。
华卓精科成为国内首家能够自主开发并实现商业化生产的光刻机双工件台供应商。
2016年，朱煜公开表示华卓晶科生产的双工件台打破了ASML对工件台的技术垄断。
华卓精密是全球第二家掌握双工件台核心技术的公司，也是全球唯一一家能够单独供应工件台的公司。
成立九年来，华卓晶科在新三板挂牌，直至今年2月终止。
2019年6月24日，上交所科创板正式受理华卓晶科上市申请，并于今日（7月29日）前往科创板IPO会议接受上市委员会审议。
最新消息是，科创板上市委员会给出了推迟审核的意见：请考虑到光刻机双工件台业务尚未产业化的事实，并说明发行人的主营业务是否属实。
申请期间符合科创板定位及发行上市条件。
、光刻机双工件台业务及02专项相关信息披露是否符合国家法律法规和科创板发行上市的信息披露要求。
请保荐机构及其他中介机构发表明确意见。
招股书背后的“光刻机第一股”到底有多难？虽然华卓精工此次的目标是成为A股光刻机第一股，但该公司并不能直接生产完整的光刻机。
官网显示，华卓晶科主营业务为集成电路制造装备及关键零部件的研发及产业化。
目前产品包括光刻机双工件台及其衍生产品、超精密运动平台、激光退火设备、晶圆键合设备等成套设备和半导体关键部件。
主要应用于集成电路芯片制造、先进封装、功率器件制造等生产线。
总而言之，华卓晶科的产品是光刻机所需的关键部件。
在芯片制造中，光刻机是技术难度最大、最关键的设备之一。
芯片上覆盖着数十亿个晶体管和电路。
如果光刻机想要在平方英寸的芯片上雕刻出每一条线和晶体管的位置，就需要投影物镜、光源和工件台系统。
在运动控制技术的配合下，工件台的成本占整个光刻机成本的10%-20%。
表现如何？招股书显示，截至年底，华卓晶科分别实现营收9200元、1.21亿元、1.52亿元。
可以看出，公司营业收入扩张迅速，公司年营业收入同比增长41.14%，年营业收入同比增长25.94%。
值得注意的是，华卓精科营收的主要来源并非“工件台”，而是精密运动系统。
精密运动系统是一种动力设备，其主要作用是帮助部件实现精确的运动或定位。
数据显示，逐年公司精密运动系统和技术开发业务收入分别为2.6万元、7.8万元、1.1万元，占同期主营业务收入的76.14%、66.12%、76.12% 。
63.47%。
在精密运动系统领域，华卓精科的产品已进入中科飞城、中山信诺、长光华达等各领域龙头企业的供应链，同时也向多家大学和科研机构供货，例如：中国科学技术大学、南京大学、暨南大学。
该组织提供产品和技术服务。
其他产品如光刻机双工件台、晶圆级键合设备、激光退火设备等仍处于商业化和大规模产品销售的早期阶段。
其中，光刻机双工件台的客户极其单一。
目前国内客户中仅有上海微电子有此类产品的采购需求。
现阶段，华卓精科已累计发货4台DWS系列光刻机双工件，仍处于小批量定制生产阶段，尚未实现大规模量产。
同时，其晶圆级键合设备、激光退火设备等产品也与上海微电子竞争。
这种尖端的技术往往需要大量的资金、长时间的消耗。
招股书披露的数据显示，华卓晶科2018年研发投入分别为9900元、5900元、0900元。
事实上，政府补贴将抵消部分研发费用。
历年研发费用加计扣除分别为5800元、2500元、9.07万元。
以此推算，华卓晶科每年将消耗数亿研发资金。
揭示其背后的融资流程。
清华大学担负着中国半导体产业的半壁江山。
华卓晶科背后有多名VC/PE人物。
据投资界不完全统计，华卓晶科自成立以来已获得10余轮融资。
公司在新三板挂牌期间，共实施定向增发5次，定向增发总额约1.42亿元。
其背后的投资阵容包括水木创投、中金公司、大华投资、浑普投资、红星美凯龙、国家集成电路产业投资基金（以下简称“国家大基金”）等一线机构。
回顾融资过程，华卓晶科的启动资金恰恰来自“我们自己人”。
天眼查APP显示，今年9月，华卓晶科完成种子轮融资，投资方为水木创投。
该创投是清华大学产业发展研究院旗下设立的科技成果产业化投资管理平台。
其核心理念是以市场需求为导向，整合清华大学的智力、政府和市场资源，聚焦清华科技成果的产业化实践。
外表。
值得一提的是，水木创投管理合伙人吴勇兼任华卓晶科董事长。
2020年5月，华卓晶科完成1万元A轮融资。
投资方为中国海外投资和中关村海淀园区创业服务中心。
资料显示，这两家机构均由中关村科技园区海淀园管委会发起设立。
两年后，以国众资本为代表的国家队开始进军该领域。
随后今年10月，华卓晶科又获得1万元战略融资，并引入中金公司、红星美凯龙、浑朴投资作为股东。
同年11月，红星美凯龙、浑朴投资参与华卓晶科定向增发5万元。
连续两次融资，为华卓晶科后续退市新三板、冲刺科创板IPO奠定了基础。
紧接着，国家各大基金也纷纷行动。
一是当年1月，国家大基金LP之一的上海装备物资基金参与了华卓晶科新一轮定向增发；同年3月，国家大基金联手向晖资本、中利基金完成华卓晶科B轮融资。
招股书显示，IPO后，华卓晶科创始人朱煜持股26.79%，为第一大股东；水木创投为第一大机构股东，合计持股11.65%；浑朴投资和中金公司持股分别为4.43%和2.30%，在机构股东中排名第二和第三。
诞生于清华大学的华卓晶科可以说是清华半导体创业者的缩影。
在这所百年大学里，涌现出了许多国内半导体行业的重要人物。
2006年，陈大同考入清华大学无线电电子学系，是班上唯一学习半导体的学生。
怀着学习国外先进技术回国振兴半导体集成电路产业的愿望，陈大同等人远赴海外深入研究。
2016年回国后，陈大同发现中国半导体集成电路产业几乎已恢复原状，于是与清华盟友吴萍萍共同创立展讯通信，立志推动中国半导体集成电路的“凤凰涅槃”通过创业实现电路产业。
队列中的还有中芯国际董事长赵海军和华大半导体总经理童浩然。
多年后，一个传奇级诞生了——EE85级，一批芯片巨头由此诞生。
今年年初，EE85班的威尔股份创始人于仁荣捐资在家乡宁波建立了一所新型理工科研究型大学。
在这个隐秘而伟大的班级群体中，还有赵伟国、兆易创新创始人之一舒庆明、卓胜微电子联合创始人冯晨辉、格科微电子创始人赵立新等知名芯片人士，还有绥远科技创始人赵立东企业家人物。
这群清华学子几乎占据了中国半导体行业的半壁江山。
华为也来了，做国产光刻机。
大家都在努力攻克光刻机，这已经成为国内半导体行业的当务之急。
光刻机被誉为“半导体皇冠上的明珠”，是半导体行业最关键的设备。
光刻工艺决定了半导体电路的线宽，也决定了芯片的性能和功耗。
可以说，光刻机赋予了芯片“生命”。
正因为如此，在当前“缺芯危机”的影响下，国内高端芯片生产制造的短板再次被放大。
外界一直有一个疑问：“为什么中国连原子弹都能造，却造不出光刻机？”核心原因在于，光刻机是跨多个学科、多个行业的顶尖理论、技术和工艺的产物。
。
一台光刻机由10万多个部件组成，集成了数学、化学、精密光学、流体力学、精密机械、自动化控制、软件工程、图像识别、电子电路等领域的顶尖技术。
一旦其中一项技术出现瓶颈，光刻机就无法使用。
放眼全球光刻机市场，荷兰公司ASML是当之无愧的霸主。
2017年，ASML占全球EUV光刻机出货量的62%，占全球DUV光刻机出货量的62%。
剩余份额由尼康和佳能瓜分。
但即使是占主导地位的ASML公司也无法独立制造光刻机，其90%的零部件都是由其他厂商提供。
例如光源技术是美国的，光学设备是日本的，轴承是瑞典的，阀门是法国的，机械技术和蔡司镜片是德国的。
国际环境的影响也不容忽视。
根据瓦森纳协议，ASML需要获得荷兰政府的出口许可证才能向中国出口EUV光刻机。
这也导致国内半导体龙头中芯国际三年前向ASML订购的价值1.2亿美元的EUV光刻机延迟交付。
庆幸的是，华卓晶科正在迎来越来越多的同仁踏上攻克光刻机的荆棘之路。
成立于2001年的上海微电子装备集团正在全力追赶ASML。
资料显示，上海微电子直接持有专利和专利申请，全面掌握先进封装光刻机、高亮度LED光刻机等技术。
今年7月20日，上海微电子交付的首台国产封装光刻机正式进驻青岛新芯科技工厂。
年产能可达36万片晶圆，制程工艺最高可达65nm。
同时，预计今年年底，上海微电子将正式交付首台28nm工艺国产光刻机，实现28nm工艺芯片纯国产化，突破14nm工艺纯国产化明年的芯片。
与此同时，VC/PE也纷纷行动。
早在今年10月，国家集成电路产业投资基金二期就注册成立，规模超过1亿元。
与大基金一期的投资范围不同，大基金二期将重点投资半导体设备和材料，包括光刻机、刻蚀机、大硅片、光刻胶等。
不久前，国内光刻胶企业南大光电获得大基金二期1.83亿元投资。
该公司研发的新一代ArF光刻胶也有望用于14/7nm工艺。
华为也已采取行动。
今年6月，华为子公司哈勃投资投资北京科亿宏源公司，占股4.76%，成为第七大股东。
值得注意的是，北京科亿宏源由中科院微电子研究所控股。
是一家光刻机核心零部件企业。
其主要产品为DUV（深紫外）光刻光源产品系列。
国内第一台高能准分子激光器就出自它之手。
这将是一个漫长的旅程。
正如元和普华管理合伙人陈大同所言，半导体等硬科技项目需要时间来发展，不可能指望在一两年内爆发。
即使最早推出，也需要五年左右的时间。
因此，大家应该抱着“十年磨一剑”的心态来参与。
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