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韩国SK首次量产5N级HF气体原料

发布于:2024-06-06 编辑:匿名 来源:网络

据韩国《中央日报》报道,SK集团旗下专门生产半导体材料的子公司SK Materials已开始量产超高纯度 (99.%) 氟化氢 (HF) 气体。

超高纯氟化氢气体被列入日本限制向韩国出口的物资清单。

是半导体生产过程中必不可少的清洁气体。

随着半导体工艺变得越来越复杂,韩国对这种气体的需求不断增加,但这种材料的供应%依赖于国外进口。

韩国SK首次量产5N级HF气体原料

SK Materials去年成功开发出试验产品,并在庆尚北道荣州工厂建成了产能15吨的生产线。

计划到今年将该材料的国内供应比例提高到70%左右。

SK Materials最近还开始开发高附加值硬掩模层(SOC)和氟化氩光刻胶(ArF PR)材料。

目前,韩国90%的氟化氩光刻胶依赖国外进口。

SK Materials已于6月15日召开董事会,决定明年投资1亿韩元建设光刻胶工厂,从今年开始年产5万加仑光刻胶。

该工厂计划建在世宗市附近。

SK Silicon去年收购了杜邦公司的碳化硅晶圆(SiC)部门。

碳化硅晶片是新一代电动汽车生产的必备材料,市场一直掌握在美国和欧洲少数公司手中。

SK集团计划利用其已有的资源与韩国中小企业合作。

其子公司SK Materials将为中小型供应商提供必要的技术和经验,以提炼高纯气体等高附加值产品;并于去年11月和9月在荣州总部成立了负责研发(RD)的“综合分析中心”,开始与韩国标准科学研究院等机构一起提供中期分析服务。

韩国半导体只成功了一半,90%的光刻胶依赖日本。

据《产经新闻》去年6月30日报道,日本政府决定加强对韩国以下三种用于半导体生产的核心材料的出口管制:高纯度氟化氢、PhotoResist(光刻胶、感光液)、显示器用聚酰亚胺面板。

为了在日本实施限制日期(7月4日)之前储备尽可能多的库存,三星电子和SK海力士加紧派遣采购负责人前往日本和其他海外地区进行谈判。

但当时的库存只能维持两个月。

去年8月,日本政府表示,未获得光刻胶和氟化氢出口许可的企业将被禁止向韩国出口。

韩国政府提出了“半导体材料国产化”的政策,并对材料、零部件、设备产业(Material, Components, and Equipment)给予支持。

如今,一年过去了,也取得了一些成果。

其中,代表性成果是开发出与日本厂商同等品质的液态氟化氢材料。

然而,用于极紫外光刻(Extreme Ultra-violet,EUV)曝光工艺的光刻胶和高纯氟化氢气体的国产化尚未实现。

此外,业界和学界普遍认为,“韩国企业虽然应该向多个供应商采购,但不应该无条件切断与日本企业的合作”。

韩国已成功研制出液体氟化氢。

韩国政府对“材料、零部件、设备国产化政策”的实施效果表示积极评价。

文在寅总统在6月29日举行的首席秘书官助理会议上表示,“这一年来,我们不畏惧日本的攻击,正面迎击,取得了突破性进展。

“我们自主研发了核心技术,为别人控制的产品供应体系开辟了一条坚实的经济道路。

”当然,韩国也取得了一些成果。

例如,韩国成功研发出液氢。

氟化物(属于日本对韩国出口限制的范围)液态氟化氢是一种用于半导体湿法蚀刻工艺的材料,用于去除半导体晶圆上的异物,在日本对韩国实施出口限制之前,日本的STELLACHEMIFA。

株式会社、森田化学工业等公司向三星电子、SK海力士等韩国企业供货,但自日本实施禁令以来,韩国今年年初开始在材料国产化方面做出努力。

韩国Soul Brain公司、RAM Technology等公司成功量产了与日本同等品质的材料。

汉阳大学聚变电子学系教授Park Jae-kyun表示:“韩国公司开发的材料与日本产品的质量相同。

”氟化氢气体的开发和生产比液体要困难得多。

SK Materials 6 月 17 日表示,将开始量产纯度为 99.0% 的氟化氢,但业内表示纯度仍低于此前使用的日本产品。

相关行业人员表示,“值得肯定??的是,氟化氢气体产品已成功生产,但纯度较低,为了尽快应用于生产,目前还在测试中。

”在韩国,光刻胶的国产化之路还很漫长。

与氟化氢一样,属于日本对韩国限制出口目录的另一种产品是用于EUV曝光设备的光刻胶(PhotoResist),而韩国的光刻胶已实现国产化。

还有很长的路要走。

对于韩国三星主攻的5纳米(1纳米=1米的1/1亿)及更高纳米工艺,EUV曝光设备必不可少。

因此,如果三星电子无法采购用于EUV曝光的光刻胶,就无法继续与台湾台积电竞争。

尽管DONGJINSEMICHEM等公司正在开发EUV用光刻胶,但量产时间尚未确定。

目前我们还是要使用JSR、信越化学工业等日本公司的产品。

据韩国贸易协会统计,从日本限制对韩出口至今年5月,日本产品进口总额为27.3万美元(约合人民币19亿元),同比增长3.5%去年。

此外,主要用于柔性有机EL的聚酰亚胺74%依赖日本。

据说,韩国企业仍然喜爱日本住友化学的产品。

如果韩国和日本企业分道扬镳,将产生10亿美元的附加值。

业界和学界普遍认为,如果韩国局限于“国产化”的框架,一味地将日本产品排除在外,继续与日本保持对抗姿态,这不会有什么好处。

有分析指出,有很多材料很难找到替代品,比如氟化氢气体、EUV光刻胶等。

韩国首尔国立大学材料工程系黄哲顺教授指出,应始终保持使用更高品质材料的策略,日本企业在材料采购上也应有针对性,来自某个国家的产品不应该被无条件排除。

近日,东归大学商学院李洪培教授在韩国全国经济劳动者联合会举办的“日本对韩国出口限制一周年、评估及问题研讨会”上表示,要确保韩国的竞争优势韩国和日本产业界有必要确保韩国和日本之间的密切合作。

如果韩日企业分道扬镳,将产生1亿美元(约8亿元人民币)的额外价值。

韩国SK首次量产5N级HF气体原料

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