Thermo Fisher Scientific 在 2018 年中国国际半导体行业技术展上展示了能够加速、创新并提高制造工厂和实验室生产力的新解决方案故障分析和过程控制 2020 年 3 月 14 日,科学服务领域的全球领导者赛默飞世尔科技 (Thermo Fisher Scientific) 宣布推出一款新产品,可改善质量控制并提高半导体制造的产量。
新产品。
这些新品将于2020年3月14-16日在上海举行的中国国际半导体产业技术展览会(N5馆N5展位)上进行展示。
Thermo Fisher 副总裁兼半导体部门总经理 Rob Krueger 表示:“Thermo Fisher 的根基深深植根于先进的分析技术,用于控制制造工艺并诊断半导体和显示器制造中工艺和产品故障的根本原因。
” “本周,我们将推出新产品,这将有助于推动亚洲,特别是中国的快速创新和半导体制造能力的持续扩展。

” Verios G4 极高分辨率 SEMThermo Scientific Verios G4 极高分辨率 (XHR) 扫描电子显微镜 (SEM) 提供确定缺陷、良率损失以及工艺和产品故障的根本原因所需的功能和灵活性。
“Verios G4 是一款纯粹的 SEM 解决方案,源自我们成功的 Helios 系列 DualBeam(聚焦离子束/SEM)仪器,”Krueger 说道。
“该产品在各种条件下都能提供行业领先的性能,特别是在先进工艺中使用的电子束敏感材料所需的低电压下。
” Hyperion II 快速高效的纳米探针 纳米探针使晶体管能够进行直接电气测量。
新型 Thermo Scientific Hyperion II 是唯一商用的基于原子力显微镜 (AFM) 的纳米探针,它消除了基于 SEM 的纳米探针的真空要求和电子束/样品相互作用。
Hyperion II 的自动化操作和成像模式专为提高速度和易用性而设计。
此外,它能够精确定位电气故障,从而提高后续 DualBeam 或 TEM 分析的速度和效率。
iCAP TQs ICP-MS 用于快速、可靠的化学监测 Thermo Scientific iCAP TQs 电感耦合等离子体质谱仪 (ICP-MS) 是经过验证的 iCAP TQ ICP-MS 的专用半导体版本。
它可以快速、可靠且可重复地测量超高纯度 (UHP) 化学品中的低浓度污染物,以支持先进半导体制造工艺的自动在线监控和统计过程控制。
iCAP TQ ICP-MS 在单一高性能解决方案中将超低浓度检测和简单性提升到了新的水平。
有了这个新系统,现在可以将化学分析从实验室转移到制造工厂并在线控制化学浴,从而缩短响应时间。
关于 Thermo Fisher Scientific Thermo Fisher Scientific 是科学服务领域的全球领导者,年销售额达 10 亿美元,在全球拥有 70 多名员工。
我们的使命是帮助我们的客户让世界更健康、更清洁、更安全。
我们的产品和服务帮助客户加速生命科学研究、解决复杂的分析问题和挑战、推进医疗诊断并提高实验室生产力。
凭借我们一流的品牌——Thermo Scientific、Applied Biosystems、Invitrogen、Fisher Scientific 和 Unity Lab Services——我们提供无与伦比的创新技术、便捷的购买选择和全面的支持。
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