半导体芯科技编译干式等离子蚀刻工艺中的污染极小。
Greene Tweed 推出了全氟弹性体 Chemraz G57,由 Greene Tweed 材料科学家和应用工程师专门开发,以满足侵蚀性干等离子体系统和其他要求苛刻的半导体制造密封应用的需求。

Chemraz G57 全氟弹性体的独特制备方法增强了等离子体耐受性并最大限度地减少了污染,从而减少了停机时间并提高了晶圆加工产量。
Chemraz G57 主要推荐用于静态和动态氧化物蚀刻晶圆加工应用,并在高达 °F/°C 的工作温度下保持稳定。
Chemraz G57 具有几乎通用的化学兼容性和所有弹性体材料中最广泛的耐化学性,使其成为各种密封应用的理想选择,包括端点窗口、钟形密封件、阀门密封件、KF 管线接头密封件、窗口密封件、隔离阀密封件、 Greene Tweed 提供高度定制的解决方案,保证在半导体行业充满挑战的工作条件下提供卓越的性能。
其先进的弹性密封件和热塑性部件产品组合用于世界各地半导体工厂关键工艺领域的各种关键设备,包括蚀刻、沉积、水性和电化学(电镀)。
今年6月,Greene Tweed宣布在韩国举行新制造工厂的奠基仪式,以扩大其Chemraz FFKM产品线的全球产能,满足半导体行业不断增长的需求。
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