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半导体器件用镍铂靶材制备关键技术取得重大进展

发布于：2024-06-06 编辑：匿名来源：网络

新华社< titlesplit >新华社建立生产线并取得良好经济效益。

镍铂靶材替代进口产品销往海外。

近日，贵盐铂金有限公司承建的项目顺利通过验收，总体评价为优秀。

项目实施过程中，技术团队开展了镍铂靶材的真空铸造及塑性加工研究，包括镍铂靶材的显微组织和择优取向控制、含脆性相靶材的塑性加工技术、镍铂靶材的塑性加工技术等。

异形靶材的冲压。

成型技术；刀具选择、装夹刀具设计及加工优化技术；高可靠性靶材与背板焊接技术；加工过程中产生的边角料清洗再利用技术、四铂绿色高效化学提纯技术取得重大突破。

技术团队入选昆明市科技创新团队、云南省创新团队培育对象、云南省工人先锋号。

据悉，该项目实施以来取得了良好的经济效益和社会效益。

贵盐铂业有限公司建成年产镍铂靶材示范生产线，形成长方形、碗形、圆形三种形状，五种不同铂含量的镍铂靶材产品。

技术性能指标和尺寸精度满足用户要求。

产品不仅替代进口，还出口到美国知名半导体公司。

累计销售各类镍铂靶材，实现产值1.05亿元，销售利润3900元，其中出口创汇2000美元。

半导体器件用镍铂靶材制备关键技术取得重大进展

2017年，该产品荣获第十九届深圳高交会优秀产品奖。

期间，技术团队申请发明专利20项，获得授权9项，发表论文22篇；引进海归博士1名，培养在职博士生4名，培养硕士研究生3名。

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