IDC：一季度中国PC显示器出货量同比增长48.6%
06-18
5纳米相当于人发丝直径的二万分之一（约0.1毫米），将成为全球最小线宽集成电路芯片。
台积电计划明年试产5纳米工艺，预计每年量产。
近日，中微半导体设备（上海）有限公司传来好消息：其自主研发的5纳米等离子刻蚀机已通过台积电验证，性能优异，将用于全球首条5纳米工艺生产线。
刻蚀机是芯片制造的关键设备之一。
中微突破了“卡脖子”技术，让“上海制造”成为蚀刻机全球第一梯队。
进入中微位于金桥出口加工区的公司时，必须穿上公司提供的皮鞋。
这家精密制造公司要求它一尘不染。
在洁净室门外，解放日报、上观新闻记者看到，研发人员身穿白色工作服、戴着白帽子、戴着口罩正在测试一台大型设备，这就是全球为数不多的5纳米刻蚀机。
我看到一片毫米大小的硅片被机器人拾起，放入真空反应室中，开始蚀刻之旅。
“各种气体会进入真空反应室，通过化学反应变成等离子气体，然后产生带电粒子和自由基，与硅片发生化学和物理反应。
”中国微电子首席专家、副院长倪图强博士表示，这些化学物质的物理反应在硅片上产生凹槽和孔洞，形成令人惊叹的微结构——一块指甲盖大小的芯片可以集成超过60亿个晶体管。
平方英寸内的近极限运行对蚀刻机的控制精度提出了很高的要求。
倪图强介绍，蚀刻尺寸的大小与芯片温度存在一一对应关系。
中微电子自主研发的组件将刻蚀工艺的温控精度保持在0.75摄氏度以内，达到国际领先水平。
气体喷射板是蚀刻机的核心部件之一。
AMEC与国内企业共同开发了创新工艺。
采用这种工艺生产的金属陶瓷具有非常细密的晶粒。
与进口喷雾盘相比，国产陶瓷涂层喷雾盘的使用寿命提高了一倍，而成本却不足五分之一。
创新成功的秘诀是什么？ 2006年，殷志尧博士、杜志友博士、倪图强博士、麦士一博士等40余位半导体设备专家创立了中国微电子集团公司。
当时世界上最先进的芯片生产线是90纳米工艺，但中微在创立之初就开始研发40纳米刻蚀机，因为他们知道集成电路行业的技术迭代非常快，而且要提前两代人进行自主研发。
。
90纳米的下一代是65纳米，再往后的下一代是40纳米。
拥有一支国际化的团队也是成功的一个重要原因。
通过海外引进和本地培训，中微的多名员工来自十多个国家和地区。
而且公司的研发团队非常齐全，多人拥有涵盖30多个学科的专业背景，为刻蚀机研发的系统工程奠定了基础。
中微凭借自主创新，已申请多项国内外专利。
“因为我们有大量的专利保护，我们与西方公司经历了四次知识产权诉讼，没有失败。
”该公司副总裁曹连胜告诉记者。
今年1月，国家知识产权局专利复审委员会根据中微提交的证据，认定纳斯达克上市公司Veiko的一项发明专利无效。
自此，AMEC经历的第三次官司以和解告终——他们与Veyco分别在福建和纽约撤诉并握手言和。
“蚀刻机曾经是一些发达国家的出口管制产品，但近年来，这种高端设备已经从出口管制清单中消失。
”倪图强表示，这表明，如果突破“卡脖子”技术，出口限制将不复存在。
如今，中微与泛林、应用材料、东京电子、日立等四家美日企业一起，组成了全球第一梯队为7纳米芯片生产线供应刻蚀机。
明年，台积电将率先进入5纳米工艺。
已验证的国产5纳米刻蚀机有望比7纳米产线获得更大的市场份额。
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