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韩国东进半导体通过三星EUV光刻胶可靠性测试

发布于：2024-06-06 编辑：匿名来源：网络

近日，东进半导体宣布，近期通过了三星电子的EUV PR（光刻胶）可靠性测试。

EUV光刻工艺需要EUV光刻机和EUV光刻胶。

目前，这一市场主要被日本厂商垄断。

三星与韩国半导体制造商东进成功开发EUV光刻胶，打破垄断。

EUV光刻胶是一种比较高端的光刻胶产品，主要应用于更先进的芯片制造工艺，例如制造7nm以下节点的芯片。

东进半导体在其位于京畿道华城市的工厂开发了EUV PR，并在三星电子华城市EUV生产线上进行了测试，并已通过可靠性测试。

韩国东进半导体通过三星EUV光刻胶可靠性测试

光刻胶是半导体曝光工艺中的关键材料。

应用于芯片上，当用半导体曝光设备照射光时，会发生化学反应，物理性质发生变化。

通过用显影剂洗掉PR，只留下必要的部分来绘制微电路。

现状：根据公开数据，日本JSR、东京安佳、信越化学、富士胶片占据全球70%以上的市场份额。

在高端光刻胶领域，日本企业处于绝对垄断地位。

不仅仅是光刻胶产品，在芯片生产所需的19种半导体材料中，日本企业在14种材料中占据绝对领先地位。

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