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上海新阳自主研发的KrF厚膜光刻胶产品通过客户认证

发布于：2024-06-06 编辑：匿名来源：网络

6月30日，上海新阳半导体材料有限公司（以下简称“上海新阳”）宣布，公司自主研发的KrF（纳米）厚膜光刻胶产品通过客户认证。

薄膜光刻胶产品近日已通过客户认证，并成功获得第一笔订单。

图片上海新阳公告作为集成电路制造领域的重要关键材料，光刻胶材料广泛应用于纳米-14纳米甚至7纳米技术节点的集成电路制造工艺中。

随着国内晶圆厂建设不断增加，以及国外光刻胶巨头产能有限、供需紧张，国内光刻胶产品需求也将快速增长。

上海新阳光蚀刻产品获得首单具有重要意义。

上海新阳表示，本次产品认证的通过和订单的获得，标志着“KrF（nm）厚膜光刻胶产品的开发及产业化”的成功，为上海新阳在光刻技术领域的目标奠定了基础。

全面完成打下了坚实的基础。

资料显示，上海新阳是国内知名的半导体材料制造商。

形成了具有完全自主可控知识产权的电子电镀和电子清洗两项核心技术。

开发了多种电子电镀和电子清洗系列功能化学品。

材料及产品广泛应用于集成电路制造、3D-IC先进封装、传统IC封装测试等领域。

据悉，光刻技术是上海新阳正在加快发展并取得重大突破的第三项核心技术。

历次年报显示，上海新阳集成电路制造所用的ArF干法、KrF厚膜胶、I-line等高端光刻胶的验证工作正在稳步推进，部分光刻胶产品取得了优异的下线测试成绩数据。

年报披露，上海新阳购买用于I线光刻胶研发的Nikon-i14光刻机、用于KrF光刻胶研发的Nikon-C光刻机、用于研发KrF光刻胶的Nikon-C光刻机用于ArF干光刻胶的研发。

上海新阳自主研发的KrF厚膜光刻胶产品通过客户认证

用于ArF浸没式光刻胶开发的ASML型光刻机和ASML XT Gi型光刻机已全部抵达工厂。

上海欣阳指出，光刻设备的陆续到来，将有助于加快公司在光刻技术全产业链的布局和发展；同时，公司将加大在晶圆和先进封装湿法工艺设备领域的投资布局。

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