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晶瑞电材再采购一台光刻机验证KrF光刻胶

发布于：2024-06-06 编辑：匿名来源：网络

12月8日，晶瑞电材披露，公司近期采购了一台KrF光刻机，可用于KrF光刻胶曝光测试，公司KrF光刻胶量产线路正在积极建设中。

此前，晶瑞电材已采购负胶、g线、i线、ArF光刻机4台。

加上本次购买的KrF光刻机，晶瑞电材已经到位5台光刻机。

机器。

目前，晶瑞电材的KrF光刻胶已完成中试，进入客户测试验证阶段。

这意味着晶锐电子新购深紫外KrF光刻机后，可以快速建设KrF光刻胶生产线，加速KrF光刻胶量产进程。

晶瑞电材再采购一台光刻机验证KrF光刻胶

这也是其KrF光刻胶量产并导入晶圆厂的最后一步。

晶瑞电材再采购一台光刻机验证KrF光刻胶

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