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硅单光子探测器取得重要进展

发布于：2024-06-06 编辑：匿名来源：网络

无锡中微晶源电子有限公司牵头的国家重点研发计划“重大科学仪器装备研制”重点项目“高灵敏硅基雪崩探测器” “研究”项目经过近两年的努力，在低抖动、大光敏面硅单光子探测芯片设计、界面电的离子注入和氧化层制备等关键技术上取得了突破。

场控制、低噪声芯片封装，并开发了硅单光子探测芯片。

设备原型。

近日，该项目顺利通过科技部高技术中心组织的中期检查。

硅单光子探测器具有超高灵敏度，是纳米波段超高灵敏度探测不可替代的关键芯片。

器件性能稳定可靠，易于组成面阵。

是实现远距离精密测量、激光雷达等重大科学仪器的关键核心。

零件之一。

目前国内硅单光子探测芯片主要依赖进口，阵列芯片被禁运。

开展硅单光子探测器自主研究对于精密测量、激光雷达等设备的自主发展具有重要意义。

硅单光子探测器取得重要进展

该项目提出了一种抑制雪崩过程中随机电场的方法。

基于国产硅片和研发平台，开发了大感光面、低时间抖动的硅雪崩探测器芯片。

开发了一系列可工程化应用的关键制备技术。

“北斗系统”开展激光测距示范应用；同时，还开发了线性模式硅雪崩探测器，以满足智能交通的市场需求。

项目下一步将加快产品研发，提高产品技术成熟度，加快产品应用示范和推广。

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