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中国光刻胶企业正在努力实现国产替代

发布于:2024-06-06 编辑:匿名 来源:网络

新浪财经SiSC编译1月28日,台积电因光刻胶污染导致大量晶圆报废,数万片12英寸晶圆损失。

Circle,受影响的是Fab 14B厂的16/12nm工艺,这是主要的营收。

可见,光刻胶不仅是光刻机的关键工艺材料,也是芯片制造的关键材料之一;对整个芯片工艺影响很大。

从半导体领域来看,光刻工艺的成本约占整个芯片制造工艺的30%,时间消耗约占整个芯片工艺的40~50%。

它是芯片制造的核心工艺。

光刻胶的质量和性能是影响集成电路性能、良率和可靠性的关键因素。

光刻胶不仅可以应用于芯片领域,还广泛应用于发光二极管、微机电系统、太阳能光伏等。

因此,根据应用领域,光刻胶除了半导体光刻胶外,还包括PCB光刻胶、PCB光刻胶、PCB光刻胶、PCB光刻胶等。

LCD光刻胶等。

作为行业的核心材料,各类光刻胶都拥有巨大的市场需求。

受益于半导体、显示面板、PCB产业东移趋势,2018年我国光刻胶市场本地供应量约70亿元,今年以来年复合增长率达到11%,远高于全球平均增长率为5%。

但市场规模仅占全球的10%左右,发展空间巨大。

我国每年光刻胶需求量为8万吨,产量为7.6万吨。

供需缺口4000吨。

其中,中国本土光刻胶产量仅为4.4万吨,仅占中国产量的58%。

全球市场中,半导体、LCD、PCB用光刻胶供应结构相对均衡;但在中国市场,本土供应以PCB用光刻胶为主,LCD、半导体用光刻胶供应占比极低。

从技术层面看,PCB光刻胶是目前国内替代速度最快的,国产化率超过50%; LCD光刻胶进展较快,国产化率在10%左右;半导体光刻胶国产化与国外先进技术相比技术差距较大,国产化率不足5%。

前瞻产业研究院 什么是光刻胶?光刻胶是由光敏树脂、敏化剂(见光谱增感染料)和溶剂三种主要成分组成的感光混合液体。

光致抗蚀剂用于加工微小图形。

生产工艺复杂,技术壁垒高。

我们要知道,电路设计首先用激光写在光掩模上,然后光源透过掩模照射到有光刻胶的硅片表面,对曝光区域的光刻胶产生化学作用,然后通过显影技术溶解并去除。

曝光或未曝光区域将掩模版上的电路图案转移到光刻胶上,最后利用蚀刻技术将图案转移到硅片上。

根据所用正负光刻的不同,光刻分为正性光刻和负性光刻两种基本工艺。

在正性光刻中,正性光刻胶曝光部分的结构被溶剂破坏和洗掉,使光刻胶上的图案与掩模上的图案相同。

相反,在负性光刻中,负性光刻胶的曝光部分会因硬化而变得不溶,掩模部分会被溶剂洗掉,使光刻胶上的图案与掩模上的图案相反。

光刻胶的生产非常困难。

对分辨率、对比度、灵敏度、粘度、附着力等有极高的要求;诸多技术参数限制构成了光刻胶的技术壁垒。

其中:1)分辨率描述了形成的关键维度; 2)对比度描述了光刻胶从曝光区域到非曝光区域的陡峭程度; 3) 灵敏度是在光刻胶上产生良好图案所需的一定波长的光。

最小能量值; 4)光刻胶的保质期很短(约3至6个月)。

半导体光刻胶的发展基于所用光源的改进以及双工作台、浸没式光刻等新型光刻技术的创新和发展。

光刻机经历了5代产品的发展,光源的每一次改进都呈现出显着的变化。

显着提高了光刻机的工艺水平,以及生产的效率和良率。

因此,用于光刻工艺的光刻胶可分为G线/i线(第一代、第二代光刻机)、KrF(第三代光刻机)、ArF(第四代光刻机)、EUV(第五代光刻机)。

目前市场上主流的四种中高端光刻胶是g-line/i-line、KrF、ArF。

国内已实现g-line/i-line量产,并正在逐步增加供应; KrF光刻胶也具备批量生产能力。

供货条件; ArF光刻胶仍处于下游认证阶段;全球最先进的EUV光刻胶在中国仍处于初级研发阶段。

全球光刻胶市场布局光刻胶被誉为芯片行业的一大坎。

光是这个材料就可以遏制一个万亿产业!是不可缺少的核心材料。

前段时间,日韩关系紧张。

日本宣布限制国内企业向韩国出口高纯度氟化氢、光刻胶、氟化聚酰亚胺。

这直接给韩国半导体、显示面板等企业带来沉重打击。

以光刻胶为例,全球前五名厂商占据光刻胶市场87%的份额,行业集中度较高。

其中,日本合成橡胶(JSR)、东京安佳(TOK)、住友化学、信越化学、美国罗门哈斯和富士电子材料的市场份额超过87%,这意味着美国和日本具有垄断地位。

光刻胶市场相当于美国和日本控制了半导体产业的上游。

光刻胶国产替代计划启动当年,国家集成电路产业投资基金成立,首期募集资金达1亿元。

该基金二期已于2016年完成,募集资金1亿元,目前国内募资总额1亿元,用于加大对装备制造、芯片设计和材料等领域的投资。

为此,我国制定了宏伟目标,明确提出到2020年90-32nm设备国产化率达到50%,2019年20-14nm设备国产化率达到30%,国产芯片自主化到2020年,充足率将达到40%,每年达到70%。

目前,在国家大基金二期支持产业发展的同时,国家开始加大对光刻胶企业的支持力度,打造完整的半导体生态系统。

总之,国内下游半导体企业全部采用国产上游设备和材料。

、软件系统,从而构建研发生态系统,形成支撑效应。

下游提出需求,上游快速跟进研发;上游开发新技术,下游快速应用。

中国光刻胶企业正在努力实现国产替代

作为国内最大的FOUDRY,中芯国际还与国家集成电路基金等单位合作,投资设立半导体产业基金,推动我国集成电路产业生态系统加速发展,挖掘发展中的潜在商机。

以及产业资产整合。

推动中国半导体产业生态发展,促进自主产学研。

以上是我国从政府政策、财政投入、企业主动等多个角度做出的努力,共同促成了今天半导体产业的大发展局面。

目前,我国主要的半导体光刻胶生产研发企业有5家,分别是苏州瑞虹(晶瑞股份有限公司旗下子公司)、北京科华、南大光电、容达感光、千里新材、上海新阳。

1)苏州瑞虹承担国家重大科技专项02专项“I线光刻胶产品开发及产业化”,在全国率先实现I线光刻胶的量产。

目前正片树脂产能为吨/年,厚膜光刻胶产能为20吨/年,纳米(KrF)光刻胶已进入中试阶段;北京科华可实现I线光刻胶产能吨/年、纳米(KrF)光刻胶产能10吨/年,其中参与国家重大科技专项的极紫外(EUV)光刻胶项目已通过验收检查; 2)南大光电计划投资6.56亿元,建设一条25吨纳米(ArF干式、浸式)光刻胶生产线,3年内年产25吨。

,本启动项目已正式获得国家02专项立项。

南大光电研发的ArF光刻胶是目前继EUV光刻胶之后难度最高、技术最先进的光刻胶。

也是22nm、14nm甚至10nm的集成电路工艺。

钥匙。

在国内一直是空白。

该光刻胶的开发旨在填补国内空白,实现芯片制造关键工艺技术和材料技术的自主控制。

这也表明,在半导体光刻胶领域,我国目前仅有EUV光刻胶尚未取得突破。

为了保证这五大公司的发展,上述公司的核心产品(不仅仅是光刻胶)均获得了华虹宏力、长江存储、中芯国际(中芯国际)等国内知名半导体公司的认可。

天津)、扬杰科技和抚顺微电子。

客户采购或认证。

事实上,国内一些厂商的光刻胶产品已经进入液晶产业链。

例如晶锐科技、南大光电;永泰科技、上海新阳、荣达感光、飞凯材料、广信材料等现有产品已导入下游应用。

不久前,业内有消息称,国内光刻胶厂商将助力韩国奥运会制造业渡过寒冬。

在SiSC看来,这个预测是荒谬的。

中国的光刻胶真的能帮助韩国摆脱对日本的依赖吗?近日,有机构发布数据称,2018年中国光刻胶自给率不足10%,这一比例2018年略有上升,但仍在10%左右。

中国本身就必须依赖进口。

如何为韩国半导体企业供货?按照规划,今年芯片自给率将达到40%,明年将达到70%。

因此,对于中国半导体领域来说,光刻胶的国产化也迫在眉睫。

中国光刻胶企业正在努力实现国产替代

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