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中微半导体投资上海瑞丽布局高端芯片装备

发布于：2024-06-06 编辑：匿名来源：网络

8月21日，中微半导体装备（上海）有限公司（以下简称“中微半导体”）发布公告称，拟投资瑞丽科学仪器（上海）有限公司（以下简称“上海瑞丽”），投资金额1万元。

本次投资完成后，中微半导体持有上海瑞丽约10.41%的股权。

资料显示，上海瑞力是国内一家集成电路工艺检测设备供应商。

中微半导体投资上海瑞丽布局高端芯片装备

目前主要产品包括光学检测设备、硅片厚度和翘曲测量设备以及附属的宏观缺陷检测设备。

其自主研发的12英寸光学测量设备TFX系列产品已应用于28纳米芯片生产线，并正在进行14纳米工艺验证，在3D存储芯片上达到64层检测能力。

目前，上海瑞丽的产品已成功进入全球领先芯片客户的3D闪存芯片生产线，并已获得7个重复订单。

是目前国内唯一进入全球领先芯片制造商的集成电路设备产品。

此前，中微半导体通过投资国内薄膜装备公司沉阳拓晶科技有限公司（持股10.96%），布局了在集成电路薄膜装备领域的布局。

中微半导体指出，本次投资上海瑞丽是公司重点实施高端芯片装备战略的又一举措，将进一步打造产业链协同效应。

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