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中国科学技术大学与中芯国际在光刻工艺方面取得重要进展

发布于：2024-06-06 编辑：匿名来源：网络

近日，中国科学院大学微电子学院与中芯国际集成电路制造有限公司取得新进展产学研合作取得进展，成功建立光刻工艺模块。

避免极坐标系下的物理模型开发缺陷。

该模型可以有效减少浸没式光刻的开发缺陷，有助于缩短开发研发周期，节省研发成本，并为不同条件下确定最佳工艺参数提供建议。

该成果发表在光刻领域国际期刊《Journal of Micro-Nanolithography MEMS and MOEMS》上。

在超大规模集成电路的先进光刻工艺中，图案尺寸越来越小，密度越来越高。

显影后残留的缺陷越来越粘在图案化的基材表面上。

如何有效消除开发缺陷，业界一直在讨论。

中国科学技术大学与中芯国际在光刻工艺方面取得重要进展

国际上尚无完整解决方案的热点问题之一。

国科大微电子学院学生马玲利用校企合作的平台，通过与校内导师的不断协商和讨论，成功建立了基于粘性流体力学的系统。

公司，并与中芯国际光刻研发团队紧密合作。

开发缺陷的物理模型可以探索单个硅片上开发过程中出现的各种物理极限，并针对不同尺寸的缺陷进行解决，为解决这一问题开辟了新的途径。

同时，该模型的提出也将有助于完善国产设备中均匀胶水显影机的相关算法。

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