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06-18
应用材料公司的数字服务工具缩短了生产时间市场对领先和尖端技术节点半导体器件的强劲需求促使全球制造商紧急尽可能地改进设备。
加快故障排除、维修和升级速度，同时加快安装和产品验证，以加速产能提升。
由于 COVID-19 大流行造成的全球旅行限制和供应链中断，这些挑战最近变得更加严重。
这种情况凸显了晶圆厂管理人员需要更加关注业务连续性规划并确保合理的资源分配，以确保即使发生最严重的突发事件也能持续生产运营。
Applied Global Services (AGS) 致力于帮助客户保持设备以最佳性能运行。
甚至在 2019 年全球大流行爆发之前，应用材料公司就在利用和扩展其服务解决方案组合，以满足客户对远程服务不断增长的需求。
图 1. 应用材料公司利用并扩展服务解决方案组合来满足客户对远程服务不断增长的需求。
例如，十多年前，应用材料公司开始提供包括远程连接功能的全面服务协议。
如今，一套不断发展的数字服务工具为应用材料公司提供了远程服务方面的独特能力。
这些工具使世界各地的客户能够快速、轻松地访问应用材料公司的专家网络，从而缩短响应时间，并为客户提供快速访问他们所需的专家维修、维护和验证服务。
应用材料公司继续大力投资开发具有更强大远程支持功能的数字工具。
因此，当COVID-19大流行限制旅行时，应用材料公司抓住了无缝连接和增加远程支持的机会。
事实上，应用材料公司提供的现场支持服务数量同比减少了约80%，但综合服务协议覆盖的机床数量实际上大幅增加。
数字工具的使用率出现了前所未有的增长，例如应用材料公司的现场服务服务器 (FSS) 及其强大的分析引擎，以满足不断增长的技术支持需求。
与专家的深入合作 应用材料公司数字工具的一个主要优势是将分析应用于解决问题，应用材料公司的全球专家网络使应用材料公司的客户工程师能够与在客户现场提供支持的客户工程师进行深入、高效的合作。
我们的专家拥有行业内卓越的技术技能，这是解决特别复杂的问题所必需的。
他们的技术技能对于解决问题至关重要，因为在工作开始之前通常不知道问题的真正复杂性。
借助远程协助和现场辅导团队，应用材料公司的专家可以缩短解决客户问题所需的时间，而不会因旅行限制和强制隔离而造成延误。
图 2. 应用材料公司的全球专家网络能够与应用材料公司的客户工程师进行深入、高效的协作，为客户提供现场支持。
这些远程协助方法还为客户提供了本地第三方服务的高效且有用的替代方案。
虽然本地服务提供商拥有靠近客户晶圆厂的便利，但他们也需要专业技术专家的支持来快速解决复杂的问题。
目前，应用材料公司用于远程服务的核心数字工具包括： ◆ 远程设备访问 应用材料公司高度安全的远程连接软件使世界各地的应用材料公司服务人员能够实时查看设备系统的图形用户界面（GUI）。
服务人员可以像在现场一样使用设备的图形用户界面执行基本功能。
◆ 现场服务服务器(FSS) 应用材料公司的安全数据分析引擎安装在客户现场，使应用材料公司的服务团队能够高效工作。
一旦获得客户批准，应用材料全球服务服务人员就可以访问安全引擎来收集高分辨率传感器数据、验证过去的设备运行情况、了解设备的整体状况并查看设备健康指标。
应用材料公司的分析引擎可加速诊断，以缩短平均修复时间 (MTTR)、增强预防性和预测性维护、减少废品、增加吞吐量/正常运行时间、缩短功能恢复时间，并实现更快的设备启动和完成室匹配以加快生产斜坡上升。
◆ 远程视频协助 Applied Materials 使用最新的增强现实 (AR) 头盔，结合其他视频捕捉技术，远程指导现场 Applied Materials 客户工程师，从而缩短解决问题的时间。
这些技术使应用材料公司的专家能够远程查看与现场客户工程师几乎相同的视图。
远程视频协助还有其他强大的优势。
好处之一是，远程专家可以注释并指向视频源中的特定对象，而现场客户工程师可以看到专家所指向的内容，就像他们一起在服务现场一样。
另一个好处是，远程专家可以上传技术图纸供现场客户工程师在查看实物时参考，从而解放工程师的双手来执行复杂的维护任务。
疫情期间，多名应用材料公司现场客户工程师在 28 个地点部署了远程视频协助工具。
我们的数字工具部署在所有地区，并由经过专门培训的工程师在日常轮班中使用。
如今，服务协议涵盖的大多数客户设备都可以使用远程访问和支持。
在大流行期间，正如以下客户案例所示，应用材料公司远程响应客户需求的能力证明了这套强大工具的价值。
提升电化学沉积设备的可靠性 在客户的工厂，应用材料公司的 Mustang? 电化学沉积 (ECD) 设备正在进行生产工艺表征。
设备的系统模块需要升级，以减少停机时间和晶圆报废。
这是一项不常见且复杂的升级任务，但由于 COVID-19 大流行造成的旅行限制，应用材料公司无法快速部署专门的服务人员来执行这项工作。
为此，应用材料公司利用远程视频辅助工具，将现场的应用材料公司客户工程师与美国或其他地区的应用材料公司专家联系起来，由专家指导客户工程师完成这项陌生而艰巨的工作（图3） 。
图 3. 应用材料公司使用远程视频协助指导其现场客户工程师完成不寻常且复杂的设备升级。
在远程专家的逐步指导下，现场客户工程师遵循所有安全规定，完成了所有必需的升级任务。
团队随后通过视频会议验证了升级流程，使设备能够在不影响客户生产进度和晶圆产量的情况下恢复生产。
从研发到生产的复杂设备到设备匹配是应用材料公司数字工具如何实现远程服务、节省客户时间和金钱的另一个例子。
该客户在北美的晶圆研发工厂拥有应用材料公司的 Centris? Sym3? 蚀刻系统。
为了满足对其产品快速增长的需求，客户需要快速验证相同的设备，以便在其亚洲工厂进行大批量生产。
应用材料公司使用客户在亚洲晶圆厂部署的分析引擎，通过远程设备访问，帮助客户在时间紧迫的情况下完成工艺验证。
这些数字工具支持硬件指纹识别以及两个 Centris Sym3 蚀刻系统之间的常数、配方和软件的比较。
结合使用分析引擎和远程访问工具，应用材料公司完成复杂的匹配操作的时间比不使用这些工具时要短得多（图 4）。
此外，还节省了常规服务人员派遣所需的17天（即：3天的旅行和14天的强制隔离）。
图 4. 应用材料公司的分析引擎和远程设备访问工具极大地加速了应用材料公司在北美晶圆研发工厂的 Centris? Sym3? 蚀刻设备开发的工艺向亚洲大批量晶圆工厂的相同设备的转移。
速度。
第一次就正确安装设备 设备安装始终至关重要，特别是对于离子注入机。
由于离子注入需要高能量源，因此人员和设施的安全是重中之重。
亚洲的客户需要安装应用材料公司 VIISTA? 离子注入机。
这是该工厂首次安装这种特殊型号的设备，应用材料公司当地的现场服务部门对所需的复杂安装程序没有经验。
与此同时，疫情造成的出行限制也使得应用材料公司无法快速部署设备和服务专家到现场。
在这种情况下，应用材料公司求助于远程视频辅助工具，以实现应用材料公司离子注入机业务部门、全球服务和现场服务团队的技术专家之间的协作。
远程团队指导本地团队完成高度复杂且具有潜在危险的光源调节和光束对准过程，然后验证其是否一次性成功完成（图 5）。
图 5. 应用材料公司的远程服务能力确保了应用材料公司的 VIISTA? 离子注入机在亚洲晶圆厂的首次成功安装。
这是此类设备首次在现场安装，当地团队此前从未有过这种存在潜在危险的安装过程的经验。
远程协作确保安装按期完成，满足客户的完成时间要求。
共同努力做出正确的选择 随着 COVID-19 大流行的平息和旅行限制的放松，许多事情将恢复正常。
但正如这些客户故事所表明的那样，数字工具的力量将永远改变晶圆厂设备的维修方式。
展望未来，该行业将需要越来越多的数字工具，例如本文中描述的工具，以实现更好更快的设备指纹识别、大型传感器组的数据分析、设备健康状况监控和其他功能。
图 6. 数字工具的力量将永远改变晶圆厂设备的维修方式。
在当今瞬息万变的世界中，应用材料全球服务部的使命和对客户的承诺始终保持不变。
无论是正常运营还是紧急紧急情况，应用材料公司都已准备好为世界各地的晶圆厂提供支持。
数字工具提供了一种将应用材料公司行业领先的专业技术、知识和能力应用于世界各地任何工厂的方法，以帮助我们的客户实现其生产目标，无论他们面临什么挑战。
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