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ASML将为EUV曝光机供应透光率90%的保护膜

发布于：2024-06-06 编辑：匿名来源：网络

据韩国媒体报道，荷兰半导体设备公司ASML将在今年年底提供透光率90%或更高的保护膜。

该保护膜可用于极紫外（EUV）曝光设备。

ASML韩国分公司总裁Lee Ming-gyu（音译）近日表示：“我们计划年内量产一款透光率达到90.6%的保护膜，一款能够保证瓦功率容量耐用性的产品。

”据称，该技术是与美国Terrordyne公司联合开发的。

的。

ASML于2016年开发出第一款基于多晶硅的EUV保护膜，当时的透过率仅为78%；当年提供80%以上的透光率；年透光率达85%以上。

三星电子、台积电等使用EUV设备量产芯片的公司表示，只有薄膜的透光率超过90%才能使用。

尽管担心掩模可能因透射率问题而暴露在灰尘中，但这些公司一直在追求无薄膜工艺。

如果今年90%以上的保护膜能够量产，半导体制造商将有望在EUV工艺中充分利用保护膜。

ASML通过日本三井化学生产保护膜。

两家公司于 2017 年签署了 EUV Pellicle 业务许可协议。

韩国国内厂商FST和S&S Tech也在开发EUV保护膜。

去年年底，FST宣布其技术目标是在今年上半年推出基于碳化硅（SiC）材料的透光率90%的“全尺寸”保护膜。

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