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上海工业技术研究院已成功量产多款非制冷红外探测器产品

发布于：2024-06-06 编辑：匿名来源：网络

上海微技术产业研究院近年来，随着集成电路技术和微机电系统（MEMS）技术的快速发展，非制冷红外探测器平面阵列探测器技术日趋成熟，系列化产品逐步实现规模化量产。

上海产业研究院专注于“超越摩尔”集成电路核心工艺研发，2016年开始布局非制冷红外探测器技术，经过多年的技术研发和重点攻关，形成了完整的红外传感器工艺已经建立了由标准模块流程组成的平台。

上海工业研究院已为众多重要客户提供非制冷红外探测器的通用工艺和定制工艺服务，包括非晶硅和氧化钒（VOx）技术路线。

多款产品已进入批量生产，并具有优越的产品性能。

就像素尺寸而言，上海工业研究院已成功量产17μm和12μm产品，8μm像素产品也已完成技术开发，正在开始小批量量产。

上海工业技术研究院已成功量产多款非制冷红外探测器产品

从阵列规模来看，上海工业研究院可以提供从小到大不同像素的超大型阵列产品选择，帮助客户提高产品竞争力。

图1氧化钒非制冷红外探测器全套工艺随着越来越多的客户提出更多的技术要求，上海工业研究院将进一步优化现有平台工艺，不断研发新技术，不断提高产品良率和稳定性流程为我们的客户提供高质量的服务。

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