文达医药完成1亿元A轮融资，龙磐资本领投
06-18
凭借各类镜头、显示设备、生物识别技术产品、5G通信技术和终端设备，以及未来“元宇宙”重要场景的入口，最近备受关注的AR/VR设备等消费终端的创新发展，对光学镀膜设备的技术工艺和性价比提出了越来越高的要求。
在刚刚结束的第23届中国国际光电博览会（以下简称CIOE）上，业界领先的ALD设备制造商和服务商——青岛四方思锐智能科技有限公司（以下简称思锐智能或SRII）带来了旗下一款Beneq品牌重点展示的其中包括ALD（原子层沉积技术）的光学镀膜应用，该技术因其优异的膜厚均匀性、形状保持性和高性价比而受到业内人士的广泛关注。
图1：ALD光学镀膜的新应用引起了业界的广泛关注。
ALD光学镀膜的应用有其独特的优势。
原子层沉积技术适用于具有三维结构的元件，尤其是具有较大深宽比结构的沟槽。
在具有微孔和复杂曲面的产品上沉积高保形、高致密、高均匀的光学薄膜。
这一特性有效弥补了现有PVD镀膜技术的缺陷，在现代光学镀膜领域受到越来越多的关注。
图2：ALD技术可用于任意形状的光学器件、球透镜、光栅等应用的批量镀膜。
思锐智能旗下Beneq十多年来一直致力于开发适合光学镀膜工业化生产的原子层沉积设备。
他是ALD技术和设备在光学应用领域最早的开拓者，积累了大量的经验。
公司设计制造的PA、P、P、C2R系列原子层沉积设备克服了同类原子层沉积设备沉积速率慢、不兼容大尺寸产品、难以批量生产等局限性，能充分满足现代光学大规模、高性能生产所需镀膜产品的需要。
图3：Beneq P系列ALD设备产品特性对比思锐智能中国销售总监刘春亮表示，Beneq P系列ALD设备的开发已经非常成熟，适合制作一些大批量的产品，比如一次制作数百甚至数千件。
数量和生产能力都相当可观。
而且，该系列配备了大容量反应釜，使其成为从研发阶段到大规模工业生产的理想工具。
此外，P 系列设备还为各种基材提供定制腔室配置选项，并且腔室易于更换，最大限度地减少了因维护而造成的停机时间。
为了进一步提高ALD的镀膜速度，与传统PVD相媲美，在本届CIOE上，Beneq还展示了最新的C2R旋转等离子体增强ALD（PEALD）。
C2R 系列将空间 ALD 技术与等离子体技术相结合。
这是思锐智能的首创，目前在整个ALD行业中也是独一无二的。
图4：Beneq C2R设备可以为客户带来一系列技术优势。
与P系列相比，C2R设备每批次的产量都比较小。
例如，它一次可以生产7片8英寸晶圆，但沉积速度非常快。
它可以在一个小时内沉积出几微米厚的膜层，其沉积速度可以与传统PVD相媲美，令许多客户感到惊讶。
“C2R和P系列各有优势，可以很好地互补，满足不同客户的需求。
因此，本次展会吸引了很多客户前来了解、洽谈。
”刘春良说道。
不断拓展应用边界，赋能工业和消费光学技术创新。
刘春亮介绍，就中国客户应用而言，思瑞智能的ALD设备这两年非常成功的领域之一就是夜视产品的生产。
思瑞智能的ALD设备通过在大面积、高深宽比的微通道板中沉积高保形电阻和发射层薄膜材料，大大提高了微通道板的二次电子产额，增强了产品性能。
“例如，在微通道板中沉积电子发射层，然后通过ALD薄膜在一些微孔中制作一些薄的氧化物材料。
这种氧化物材料有利于光子的倍增，可以将弱光变成相对强的光“我们已经帮助一些国内外知名的夜视产品制造商在量产质量和经济效益方面取得了不错的成绩。
”他强调，不仅如此，思锐智能还提供了ALD层。
国内知名传感器工业视觉系统供应商的沉积设备，主要用于在曲面（玻璃柱体）上沉积微米厚的低折射率和高折射率材料的光学叠层。
该公司对光学系统制造商的主要应用是用高折射率材料填充衍射光栅，生产平面光栅结构并保持光栅结构清洁。
同时，思锐的ALD设备也受到越来越多相机镜头厂商的青睐。
主要用于在小型曲面镜片上沉积均匀的减反射、增透膜材料。
此外，思瑞智能在硅基微显示（Micro-OLED）薄膜封装、LED DBR反射片生产、半导体设备核心部件防护涂层等方面也有广泛应用。
近期不断有消息称，业内A字头的知名企业将在其未来的AR、VR终端透视眼镜中采用Micro-OLED。
事实上，Micro-OLED必须使用ALD设备，这提高了其整体性能。
得到业界的认可。
目前为止，ALD已经成为Micro-OLED的必要生产工艺。
思瑞智能副总经理陈祥龙解释，Micro-OLED蒸馏生产线上常采用ALD串联方式。
发光材料蒸发后，采用ALD进行薄膜封装。
ALD 的最大优势之一就用在这里——那就是它可以制作非常致密的保护膜。
这种情况下，可以有效阻隔水和氧气，增加OLED的使用寿命。
在Micro-OLED市场，思瑞智能占据了整个市场近90%的份额，无疑是该行业的先行者。
“全球一些最早的研发客户使用的薄膜封装设备就是我们的ALD设备，从最初的研发到最后的生产，我们全程参与。
在中国也是如此，比如上海大学华南理工大学显示研发中心，广州新世界上的封装设备，而在福州大学，基本上前端研发设备都是我们的ALD设备，从前期的研发到最后的生产，我们全程合作参与。
帮助客户成功的流程。
”陈祥龙说。
当然，思瑞智能的ALD设备关注的不仅仅只是上述的主要光学镀膜应用。
公司希望继续扩大服务范围，打造专注于光电系统和后端半导体器件的一站式前端光模块。
系统级ALD解决方案提供商。
思瑞智能在整个技术的本土化方面非常积极，也在中国建立了非常强大的研发团队和技术支持团队。
公司在青岛、上海建立了半导体实验室。
作为一家装备制造企业，思瑞智能希望通过本土化的技术团队和本土化的实验室，为本土客户提供的不仅仅是一台设备，而是一整套的研发。
服务，从概念验证到试点验证，再到最终的交钥匙设备解决方案。
陈祥龙坦言：“我们也希望通过本地化的技术能力，能够与客户保持良好的粘性，同时也能将我们芬兰全资子公司Beneq近40年来积累的红利带来给中国客户。
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