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南大光电：ArF光刻胶已获得两家客户认证，计划产能可扩大至50吨

发布于：2024-06-06 编辑：匿名来源：网络

近日，南大光电在调查中表示，目前，公司研发的ArF光刻胶已获得两家客户认证，分别是一家存储芯片公司和一家逻辑芯片公司。

公司还重点针对国内最重要的客户进行认证，每个客户都有三到四种胶水正在接受认证。

光刻胶的认证一般需要一年以上的时间，并经过四轮以上的送样。

目前，这些光刻胶的认证工作进展顺利。

南大光电还表示，公司目前已建成两条ArF光刻胶生产线，产能为25吨。

并计划进一步储备产能，目前计划将产能扩大至50吨。

南大光电专注于纳米光刻胶的研发和产业化，目标是打造从原材料到光刻胶成品的完整光刻胶产业链。

在光刻胶原材料方面，南大光电具备单体合成能力。

部分单体已在国内实现工业化。

对于一些特殊、高科技的关键单体，公司自行设计、合成、制备。

可以说，用于制备光刻胶的单体已全部国产化。

此外，南大光电主要产品订单基本饱和。

南大光电：ArF光刻胶已获得两家客户认证，计划产能可扩大至50吨

此外，南大光电主要产品订单基本饱和。

MO Source苏州工厂主要通过技术创新和改造提高产能；全椒半导体工厂布局的MO Source 2.0项目进展顺利，部分产品已进入客户认证阶段；高纯ALD/CVD产品（前驱体）扩大生产，开发新产品。

产品满足市场需求；氢基电子特种气体扩产正走“三同时”程序；飞源气体含氟电子特种气体生产基地通过技术改造和产能扩张，建成吨/年三氟化物生产基地。

氮气及吨/年六氟化硫生产线。

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