近日,南大光电在调查中表示,目前,公司研发的ArF光刻胶已获得两家客户认证,分别是一家存储芯片公司和一家逻辑芯片公司。
公司还重点针对国内最重要的客户进行认证,每个客户都有三到四种胶水正在接受认证。
光刻胶的认证一般需要一年以上的时间,并经过四轮以上的送样。
目前,这些光刻胶的认证工作进展顺利。
南大光电还表示,公司目前已建成两条ArF光刻胶生产线,产能为25吨。
并计划进一步储备产能,目前计划将产能扩大至50吨。
南大光电专注于纳米光刻胶的研发和产业化,目标是打造从原材料到光刻胶成品的完整光刻胶产业链。
在光刻胶原材料方面,南大光电具备单体合成能力。
部分单体已在国内实现工业化。
对于一些特殊、高科技的关键单体,公司自行设计、合成、制备。
可以说,用于制备光刻胶的单体已全部国产化。
此外,南大光电主要产品订单基本饱和。

此外,南大光电主要产品订单基本饱和。
MO Source苏州工厂主要通过技术创新和改造提高产能;全椒半导体工厂布局的MO Source 2.0项目进展顺利,部分产品已进入客户认证阶段;高纯ALD/CVD产品(前驱体)扩大生产,开发新产品。
产品满足市场需求;氢基电子特种气体扩产正走“三同时”程序;飞源气体含氟电子特种气体生产基地通过技术改造和产能扩张,建成吨/年三氟化物生产基地。
氮气及吨/年六氟化硫生产线。
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