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06-18
Park原子力显微镜公司是一家拥有30多年制造历史的原子力显微镜制造商。
，Park原子力显微镜公司现推出新一代高效安全的掩模修复设备——Park NX-Mask。
完全兼容 EUV 双 Pods Park NX-Mask 旨在为您提供出色的解决方案，其强大的兼容性可应用于处理 EUV 掩模的双 Pods。
从自动缺陷检测到缺陷修复再到修复验证的一站式解决方案，以前所未有的高修复效率极大地提高了生产效率，助力您的研发和生产工作。
“Park NX-Mask配备了最先进的原子力显微镜掩模缺陷修复系统，适用于高端EUV半导体制造和掩模修复晶圆厂，也是半导体市场上性价比最高的机器。
” Park原子力显微镜产品营销总监Richard Lee对此进行了介绍。
Park NX-Mask的核心优势是具有亚纳米边缘定位精度的缺陷修复和杂质颗粒去除。
NX-Mask 可以有效修复光掩模，而不会造成额外的样品损坏和颗粒污染。
基于AFM的EUV掩模修复设备，NX-Mask 基于AFM的EUV掩模修复设备ParkNX-Mask将自动缺陷检测和掩模修复集成在一起，实现高通量、高分辨率，并避免传统方法造成的损坏性风险。
此外，Park NX-Mask 可以提供全自动原子力显微镜纳米测量，以测量表面粗糙度和图案台阶高度。
它在非接触式扫描模式下以亚埃垂直精度完美地完成了这一任务。
关于 Park Atomic Force Microscopy, Inc.：作为当今发展最快、世界一流的原子力显微镜系统制造商，Park Atomic Force Microscopy（Park Systems）一直与时俱进，致力于服务于化学、材料、物理、生命科学、半导体和数据存储等行业研究人员和工程师提供各种系列产品。
“真诚协助科学家和工程师解决世界上最紧迫的问题，不断推动科学发现，坚持拓展工程创新边界，不断实现纳米级进步”一直是帕克原子力显微镜的使命。
如今，Park Systems 的客户包括大多数世界领先的半导体公司以及亚洲、欧洲和美洲的国家研究型大学。
Park Atomic Force Microscopy（Park Systems）是韩国证券交易所（KOSDAQ）的上市公司，总部位于韩国水原，在美国、墨西哥、德国、法国、英国、大中华区、日本、新加坡和印度。
了解更多请关注12月2日14:00 utm_medium=email utm_campaign=nxmasknewproduct_cn_PSG晶鑫在线研讨会年终晶鑫在线研讨会！以“复杂动荡的国际形势下中国半导体制程供应链对策”为主题，邀请了宏芯气体、微芯新材、原台积电、中芯国际等技术专家共同探讨光刻材料、散装供应链热点气体和特殊气体材料等点。
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