4月5日,应用材料公司宣布推出AIx?,这是一个创新平台,旨在加速新芯片技术的发现、开发和商业部署。
AIx 代表 Actionable Insight Accelerator,它使工程师能够实时观察半导体工艺,对晶圆和单个芯片进行数百万次测量,并优化数千个工艺变量,以提高半导体性能、功耗、面积成本和上市时间 (PPACt) 。
AIx 平台适用于所有应用材料公司的工艺设备、电子束计量系统和检测系统,并且可从实验室扩展到晶圆厂。
通过让工程师能够在开发过程中识别创新配方,AIx 提高了转移和进入大批量制造 (HVM) 的速度。
AIx 目前已投入使用,可改善逻辑和存储芯片的 PPACt(即:性能、功耗、面积成本和上市时间)。
AIx 使工程师能够实时观察半导体工艺,对晶圆和单个芯片进行数百万次测量,并优化数千个工艺变量,从而加速新芯片技术的发现、开发和商业部署。
应用材料公司高级副总裁兼半导体产品部总经理 Purab Raja 表示:“加快上市时间是我们生态系统中所有公司的最大价值驱动力。

” “AIx 平台带来了新的方法,将应用材料公司的所有能力结合在一起,将开发时间缩短一半,并将工艺窗口扩大三分之一,我们在过去三年中一直在开发 AIx 平台,为工程师提供全面的解决方案。
应用材料公司半导体产品集团副总裁 Raman Achutharaman 表示:“AIx 在半导体技术生命周期的每个阶段(从研发到增长和大规模生产)都利用了大数据和人工智能的力量。
”虽然工程师可以使用数千个过程变量,但 AIx 可以识别和放大一些难以捉摸的相关性,以优化配方以获得世界一流的结果。
这些可操作的数据为工程师提供了加速 PPACt 所需的可操作的见解。
”VLSIresearch 首席执行官兼董事长 Dan Hutchison 表示,“Applied Materials 的流程工程生态系统 AIx 平台利用了大数据。
分析再次为半导体行业增添了真正的价值。
AIx 超越了数十年基于线性数据流的传统统计过程控制方法,进入了一个新的多维世界,其中来自 3D 图像、现场计量和传感器数据的数据可以堆叠并随后提取为可操作的信息。
应用材料公司的 AIx 是一个新的工具包,专注于加速研发,从而缩短取得成果的时间,并最终缩短货币化的时间。
我预计 AIx 算法将被移植到生产中,通过实时室控制来控制过程。
“AIx 平台包括:Chamber AI?:适用于应用材料公司工艺室的新型传感器和机器学习算法,为工程师提供化学、能量、压力、温度和持续时间等变量的实时分析。
机载计量:独特的真空计量技术能够在沉积过程中以埃级精度测量新薄膜:基于应用材料公司独特的电子束计量算法,测量速度提高了 20 倍,分辨率提高了 50%,工程师可以进行超过一百万次的 3D 晶圆测量。
每小时获得一次,以评估配方的微小变化对纳米级片上设备和结构的影响 AppliedPRO?:工艺配方优化器生成数字工艺图,帮助加速材料和配方开发,减少可变性并扩大工艺窗口。
, AppliedPRO 可用于优化单个腔室和工具,同时还可加速整个系统的匹配。
AIx 平台包括精选的应用材料公司腔室。
和系统的数字克隆,以支持虚拟实验,加速配方开发,改进匹配和生长转移,并优化大规模生产的吞吐量和产量。
计算:AIx平台包括使用机器学习和人工智能算法来存储和分析海量数据。
所需的计算资源。
应用材料公司将在 4 月 6 日举行的年度投资者大会以及定于 5 月 5 日和 6 月 16 日举行的大师班活动上分享 AIx 案例研究。
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