湖北“十四五”规划：推进国家存储基地建设，打造国家先进存储“产业航母”
06-18
4月5日，应用材料公司宣布推出AIx?，这是一个创新平台，旨在加速新芯片技术的发现、开发和商业部署。
AIx 代表 Actionable Insight Accelerator，它使工程师能够实时观察半导体工艺，对晶圆和单个芯片进行数百万次测量，并优化数千个工艺变量，以提高半导体性能、功耗、面积成本和上市时间 (PPACt) 。
AIx 平台适用于所有应用材料公司的工艺设备、电子束计量系统和检测系统，并且可从实验室扩展到晶圆厂。
通过让工程师能够在开发过程中识别创新配方，AIx 提高了转移和进入大批量制造 (HVM) 的速度。
AIx 目前已投入使用，可改善逻辑和存储芯片的 PPACt（即：性能、功耗、面积成本和上市时间）。
AIx 使工程师能够实时观察半导体工艺，对晶圆和单个芯片进行数百万次测量，并优化数千个工艺变量，从而加速新芯片技术的发现、开发和商业部署。
应用材料公司高级副总裁兼半导体产品部总经理 Purab Raja 表示：“加快上市时间是我们生态系统中所有公司的最大价值驱动力。
” “AIx 平台带来了新的方法，将应用材料公司的所有能力结合在一起，将开发时间缩短一半，并将工艺窗口扩大三分之一，我们在过去三年中一直在开发 AIx 平台，为工程师提供全面的解决方案。
应用材料公司半导体产品集团副总裁 Raman Achutharaman 表示：“AIx 在半导体技术生命周期的每个阶段（从研发到增长和大规模生产）都利用了大数据和人工智能的力量。
”虽然工程师可以使用数千个过程变量，但 AIx 可以识别和放大一些难以捉摸的相关性，以优化配方以获得世界一流的结果。
这些可操作的数据为工程师提供了加速 PPACt 所需的可操作的见解。
”VLSIresearch 首席执行官兼董事长 Dan Hutchison 表示，“Applied Materials 的流程工程生态系统 AIx 平台利用了大数据。
分析再次为半导体行业增添了真正的价值。
AIx 超越了数十年基于线性数据流的传统统计过程控制方法，进入了一个新的多维世界，其中来自 3D 图像、现场计量和传感器数据的数据可以堆叠并随后提取为可操作的信息。
应用材料公司的 AIx 是一个新的工具包，专注于加速研发，从而缩短取得成果的时间，并最终缩短货币化的时间。
我预计 AIx 算法将被移植到生产中，通过实时室控制来控制过程。
“AIx 平台包括：Chamber AI?：适用于应用材料公司工艺室的新型传感器和机器学习算法，为工程师提供化学、能量、压力、温度和持续时间等变量的实时分析。
机载计量：独特的真空计量技术能够在沉积过程中以埃级精度测量新薄膜：基于应用材料公司独特的电子束计量算法，测量速度提高了 20 倍，分辨率提高了 50%，工程师可以进行超过一百万次的 3D 晶圆测量。
每小时获得一次，以评估配方的微小变化对纳米级片上设备和结构的影响 AppliedPRO?：工艺配方优化器生成数字工艺图，帮助加速材料和配方开发，减少可变性并扩大工艺窗口。
, AppliedPRO 可用于优化单个腔室和工具，同时还可加速整个系统的匹配。
AIx 平台包括精选的应用材料公司腔室。
和系统的数字克隆，以支持虚拟实验，加速配方开发，改进匹配和生长转移，并优化大规模生产的吞吐量和产量。
计算：AIx平台包括使用机器学习和人工智能算法来存储和分析海量数据。
所需的计算资源。
应用材料公司将在 4 月 6 日举行的年度投资者大会以及定于 5 月 5 日和 6 月 16 日举行的大师班活动上分享 AIx 案例研究。
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