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三星成功研发出透光率88%的EUV光罩保护膜

发布于：2024-06-06 编辑：匿名来源：网络

韩媒ETNews 据韩媒报道，三星已于年底完成透光率88%的光罩保护膜的研发并掌握了当年的量产技术。

业内指出，三星投入EUV掩膜膜的研发主要是为了应对未来需求和供应多元化。

光掩模保护膜用于半导体曝光工艺中，可以大大减少工艺污染，减少光掩模损坏。

EUV光掩模的价格达到数亿韩元（1亿韩元，约合8万美元）。

三星成功研发出透光率88%的EUV光罩保护膜

使用光掩模保护膜可以降低成本，特别是在5nm以下的先进工艺中。

光罩管理开始受到重视，光罩保护膜的需求量也随之增加。

相应地改进。

目前，EUV掩膜保护膜市场由荷兰ASML和日本三井化学占据主导地位，后者独家供应EUV曝光设备。

随着EUV工艺的普及，对光罩保护膜的需求增加，对海外厂商的依赖将会增加。

要想稳定供应链，首先要进行投资。

据悉，台积电也投入了产品研发，以确保EUV光罩保护膜。

业内预计EUV光罩保护膜需求量将同比增长近2倍。

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