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最新版本的ArF准分子激光器GT65A可以缩短光刻光源的中断时间

发布于：2024-06-06 编辑：匿名来源：网络

Gigaphoton提供最新版本的ArF准分子激光器GT65A，可以将光刻光源的中断时间缩短高达50%，为了改善光刻光源装置的运行，日本栃木县小山市--(美国商业资讯)--Gigaphoton Co., Ltd.（母公司：栃木县）是半导体光刻光源的主要供应商。

小山市董事长：Katsumi Uranaka）宣布，公司已于1月份向客户提供了最新的半导体产品，以满足近年来不断增长的需求，最先进的液浸漏光（光刻）设备的ArF已被激发准分子激光“GT65A”1号机。

“GT65A”提高了激光器的稳定运行性能和工艺范围，为提高光刻设备的生产性能做出了巨大贡献。

GT65A基于Gigaphoton迄今为止积累的经验和技术，通过将作为主模块的腔体寿命延长30%并提高维护效率来实现最多可缩短50%的停机时间。

此外，具有光谱控制功能的稳定技术“eMPL Solid”和控制功能“hMPL”提高了CD的均匀性并优化了程序，使可扩展性成为可能。

同时，GT65A实现了不使用氦气的目标，不仅减轻了环境负荷，还大大降低了未来氦气供应不足和价格暴涨的风险，为客户提高环境可持续发展和可持续发展做出了贡献。

CRS 活动。

Gigaphoton董事长Katsumi Uranaka评论道：“近年来半导体市场发展良好，提高光刻设备的利用率已成为每个制造商的重要问题。

我们将沿着新技术路线‘RAM增强’采用新技术，进一步加强和提高光刻光源的可靠性、可用性和维护效率，为半导体制造业做出贡献。

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