EUV已导入芯片量产阶段,订单持续涌入。
全球半导体光刻技术领导者阿斯麦(ASML),今天公布了第一季度财务业绩。
ASML第一季度净销售额(net sales)为22.9亿欧元,净利润为5.4亿欧元,毛利率为48.7%。
第二季度净销售额预计将下降2.5至26亿欧元,毛利率约为43%,反映出EUV收入大幅增长。
ASML总裁兼首席执行官Peter Wennink表示:“第一季度业绩强劲并超出预期,主要得益于大量出货量以及客户对深紫外(DUV)光刻系统和全面光刻解决方案的需求。
在EUV方面,我们本季度已经完成了 3 台 EUV 系统的发货,还有一台正在准备发货,第一季度我们已经收到了 9 台 NXE:B 的订单,并且我们最近也确认了 EUV 业务的持续增长。
各家客户已公开讨论在今年年底前使用EUV进行芯片量产,因此我们计划在今年年底前完成20台EUV系统的出货,并在今年年底前将EUV出货量增加到30台。
此外,关于下一代High-NA(高数值孔径)EUV产品,我们也开始收到来自三个主要客户的4个订单,另外8个EUV订单采用“High-NA”的延伸。
EUV光刻技术。
其分辨率和叠加能力比目前的EUV系统提高70%,可以实现行业未来对几何芯片的要求。
几何芯片缩放的要求。
“这是一个良好的开端,我们乐观地认为 ASML 在 2020 年的业绩和盈利能力将继续稳定增长,”Peter Wen 表示。
第一季度产品亮点总结 · 深紫外 (DUV) 光刻:我们最新的 NXT 工具已达到每天曝光 6 片晶圆的生产里程碑,以支持客户的大规模生产需求。
· 整体光刻:采用多重电子束技术的图案保真度计量系统ePfm5已于本季度发货。
该系统是ASML收购汉威科后共同开发的产品。
它具有更高的分辨率来检测系统缺陷。

这种创新的电子束测量系统与ASML的计算光刻软件相结合,可在实际芯片制造过程中向光刻系统提供实时电子束反馈。
ASML还证实,多电子束可以进一步提高电子束测量的生产率,并可用于量产阶段。
· 极紫外(EUV)光刻:产量持续提高。
在客户测试中,它达到了每小时曝光晶圆的量产里程碑。
同时,还演示了ASML实验室每小时晶圆的曝光量。
圆圈的强度。
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