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南大光电ArF光刻胶通过逻辑芯片企业55nm产品认证

发布于：2024-06-06 编辑：匿名来源：网络

5月31日晚，南大光电宣布，控股子公司宁波南大光电自主研发的ArF光刻胶在国内某存储芯片制造公司使用同年12月。

继公司50nm闪存平台通过认证后，近期逻辑芯片制造公司55nm技术节点产品取得认证突破，表明公司光刻胶产品已满足55nm后端金属布线层的工艺要求平台。

受利好消息影响，南大光电今日开盘股价大幅上涨。

截至收盘，股价上涨11.17%，报收于35.19元/股。

数据显示，随着芯片进入纳米级别，半导体光刻胶的波长也在不断缩短，并逐渐从紫外广谱发展到g线（nm）、i线（nm）、KrF（nm）、ArF（nm））、ArF沉浸式，以及最先进的EUV（13.5nm）线级。

从国内光刻胶市场来看，低端中g线/i线光刻胶自给率在20%左右，KrF光刻胶自给率不足5%，而高端ArF光刻胶完全依赖进口。

是国内半导体的卡壳技术之一。

虽然南大光电的ArF光刻胶现已通过55nm工艺认证，但ArF光刻胶涵盖了广泛的工艺技术，可用于90nm-14nm甚至7nm技术节点制造工艺。

广泛应用于芯片制造（如逻辑芯片、存储芯片、AI芯片、5G芯片和云计算芯片等）。

南大光电ArF光刻胶通过逻辑芯片企业55nm产品认证

南大光电ArF光刻胶通过逻辑芯片企业55nm产品认证

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