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英诺科学成功引进ASML光刻机

发布于：2024-06-06 编辑：匿名来源：网络

据12月8日消息，英诺科学（珠海）科技有限公司（简称“英诺科学”）成功引进8英寸硅基ASML光刻机。

氮化镓量产线举行庆典。

Innosec于2017年推出ASML光刻机，凭借其优异的成像性能和独特的TWINSCAN架构（双晶圆工件平台），Innosec进一步提升了硅基氮化镓功率器件的产能和产能。

生产线产量。

Innosec首席执行官孙再恒表示，公司在今年第二季度引进了ASML光刻机，改善了光刻工艺窗口，进一步提高了产能和产线良率，带来了可观的成本效益。

设备安装完毕后，双方技术团队密切配合。

通过现场验证和快速迭代，轻松解决了技术难题，仅用三个月时间就实现了试产，并最终于10月进入正式量产阶段。

通过与半导体设备领导者ASML合作，加速Innosec产品推向市场，助力氮化镓半导体蓬勃发展。

国内首条8英寸硅基氮化镓外延及芯片生产线。

据维科网了解，Innosec是当年12月由海归团队发起，聚集数十位国内外精英，共同创立的第三代半导体公司。

一家研发、生产电力电子器件的高新技术企业。

Innosec采用IDM全产业链模式，致力于打造集研发、设计、外延生长、芯片制造、测试和失效分析于一体的第三代半导体生产平台。

英诺科学成功引进ASML光刻机

公司一期项目位于珠海市国家高新区，建成国内首条8英寸硅基氮化镓外延及芯片大规模量产线。

公司主要产品包括30V-V氮化镓功率器件，产品设计和性能达到国际先进水平。

Innosec此次成功将ASML光刻机引入8英寸硅基氮化镓量产线，无疑是一次重大突破。

ASML副总裁兼中国区总经理沉波也表示：“我们很荣幸成为Innosec的一员。

”Innosec的蓬勃发展体现了近年来第三代半导体的快速进步和长期发展潜力， ”沉波表示，“ASML一直致力于引领潮流。

光刻技术为客户提供不懈的支持和服务，推动整个半导体行业的创新发展。

我们将继续为Innosec的可持续发展提供先进的技术和优质的服务。

”备注：曾毓群是一家“动力电池公司。

CATL宁德时代创始人“哥”投资了Innosec。

从他的个人履历可以看出，电动汽车、新能源、功率器件、第三代半导体硅基氮化镓，以及以快充为应用先锋的氮化镓功率器件还不能相提并论。

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