科技新闻 当前全球芯片制造行业,除了台积电、格罗方德、三星,还有英特尔,他们拥有先进的生产技术。
IMEC除了拥有可生产先进逻辑计算芯片的强大生产能力外,还是晶圆制造领域技术研发的领先单位。
因此,继台积电和韩国三星相继透露布局5纳米先进工艺后,Amico也在上周宣布了一项新技术,打造全球最小的SRAM芯片。
它的芯片面积比之前的更大。
该产品体积缩小了24%,未来将适用于先进的5纳米工艺技术。
事实上,由于结构简单等因素,研发人员在每一代新工艺中都经常使用SRAM芯片进行测试。
其结果是,谁制造出核心面积更小的SRAM芯片,就意味着谁的工艺技术更先进。
此前的记录是三星今年2月在国际会议上宣布的6T Mb SRAM芯片,面积仅为0.mm2。
不过,上周Amico和Unisantis开发的新一代6T Mb SRAM芯片打破了这一记录。
核心面积仅为0.mm2至0.mm2,比三星的SRAM小24%。

Amico表示,之所以能够大幅缩小面积,是因为采用了新的晶体管结构。
Unisantis和Amico采用Unisantis开发的垂直环栅晶体管(SGT)结构,最小栅间距仅为50nm。
在这个级别上,与标准GAA晶体管相比,垂直SGT单元GAA晶体管面积可减少20%至30%,同时在工作电压、漏电流和稳定性方面表现更好。
目前,Amico正在与Unisantis合作定制新工艺的关键工艺流程和步骤。
预计通过新工艺协同优化DTCO技术,研究人员将能够使用50nm间距制造0.mm2 SRAM单元。
未来,该工艺还可应用于5nm工艺节点。
此外,该工艺技术还可以利用EUV极紫外光刻技术来减少工艺步骤,这使得设计成本与传统FinFET工艺相当。
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