集微网消息:清华大学化学系焦丽英课题组和微电子研究所任天岭课题组在《自然·电子学》网上发表题为《集成》二维电子元件的制备”研究论文《制备与集成》首次提出了集二维晶体材料合成和器件集成于一体的器件制备策略。

据悉,该研究基于二维1T’/2H MoTe2异质结构的图案化合成,通过一步化学反应实现全二维器件的制备。
通道和电极通过共价键连接,可以降低势垒,有效注入电子,避免后处理过程中材料的损伤和界面污染。
该策略被用来制备一系列高性能原型器件,如场效应晶体管、逆变器、用于调频的射频晶体管阵列、超短场效应晶体管、互连多层器件和柔性器件,展示了重要的意义。
材料合成与器件集成新型集成策略的应用前景。
随着大规模IC技术的不断发展,硅器件的尺寸正逐渐接近物理极限。
探索新的器件技术、寻找硅材料的替代品以延续和扩展摩尔定律,已成为科学界和工业界共同关注的热点问题。
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