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新的光刻技术或将对纳米芯片的发展产生重大影响

发布于：2024-06-06 编辑：匿名来源：网络

如今，业界不断刷新纳米芯片的记录，这无疑将为我们未来的计算带来更多可能性。

为此，各国科研人员不断努力。

近日，一个国际研究团队在一份报告中表示，他们在制造纳米芯片方面取得了突破性进展，这可能会对全球纳米芯片的生产以及所有纳米技术实验室产生重大影响。

据悉，该研究团队由纽约大学坦登工程学院化学与生物分子工程教授 Riedo 领导。

他们证明，使用加热到摄氏度以上的探针的光刻技术优于二硫化物等二维半导体。

在钼（MoS2）上制造金属点击的方法成本较低，有望成为当今电子束光刻的替代方案。

该团队将这种新的制造方法称为热扫描探针光刻（t-SPL），与当今的电子束光刻（EBL）相比，它具有许多优点：首先，热光刻提高了 2D 晶体管的质量，抵消了肖特基势垒并阻碍了金属和二维基底之间界面上的电子；与电子束光刻 (EBL) 不同，热光刻允许芯片设计人员轻松对 2D 半导体进行成像，然后在需要的地方对电极进行图案化；此外，热扫描探针光刻 (t-SPL) 制造系统有望节省初始成本；最后，通过使用并行热探针，可以轻松地将这种热制造方法扩展到批量工业生产。

Riedo博士希望t-SPL最终能够从实验室走向工厂批量生产。

为了实现这一愿景，研究人员仍需继续努力，快速推进材料科学和芯片设计。

有一天，这些 t-SPL 工具的分辨率将低于 10 纳米，并在标准环境条件下以伏特功率运行。

事实上，Riedo 在热探测方面的经验可以追溯到十多年前，先是在 IBM Research-Zurich，后来在纽约城市大学 (CUNY) 研究生中心的高级科学研究中心 (ASRC) ）探索金属纳米加工的热光刻技术。

与该论文的共同第一作者郑晓睿和安娜丽萨·卡洛合作，并拥有居里夫人奖学金。

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