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06-18
《化合物半导体》杂志原子力显微镜（AFM）是连接到原子力显微镜的探针利用被测样品之间的相互作用力来获取纳米级高分辨率扫描探针显微镜材料的表面形貌信息。
自美国斯坦福大学发明第一台AFM以来的40年来，AFM因其具有前所未有的高空间分辨率、可以测量纳米级别的多种物理性质而得到了广泛的应用。
Park Systems创始人兼首席执行官Sang-il博士是Calvin Quate教授实验室的研究生，参与并见证了第一台AFM的诞生。
“要发展技术，测量必须先行。
” Park Systems 由 Park 博士创立，一直以其先进的自动化 AFM 系统而闻名。
率先采用AFM技术作为纳米级测量的主要工具，并使其成为半导体行业测量的主流。
一切重新开始，华丽开始。
2020年5月8日，Park Systems上海实验室乔迁揭牌仪式在上海德比虹桥国际WE隆重举行。
Park Systems上海实验室搬迁旨在为中国先进学术领域做出科技贡献，提供更好的纳米测量技术，帮助客户在各自的测量和测试应用中解决问题并改进流程。
水平，提高研发效率。
开幕式结束后，ACT国际商报《化合物半导体》杂志受邀对帕克系统中国区销售总裁张家荣先生进行了专访。
他详细介绍了Park Systems在中国的发展历程和未来规划。
△左：Park Systems中国区销售总裁张家荣。
右：《化合物半导体》杂志社负责人程丽娜有了新的开始。
Park Systems 扩大并搬迁了其上海实验室。
“今天我很高兴。
上海实验室的扩建和搬迁标志着Park Systems将其提升到了一个新的水平。
”张先生说道。
谈及他个人对AFM技术的理解和看法，你会发现他的个人经历与Park Systems在中国的蓬勃发展和卓越成就密切相关。
△在Park Systems上海实验室合影 “我从2000年开始就从事原子力显微镜的推广工作。
早期我主要服务于学术市场； 3年后，我开始寻找并培育AFM在业界的应用；从2000年到2010年，我将AFM引入半导体故障分析、后端工艺和LED PSS监控； 2016年之后，随着先进半导体的快速发展，全球范围内对于开发更小、更高效的半导体元件展开了激烈的竞争。
AFM凭借其独特的技术，市场应用场景大规模增加。
”张总强调，Park Systems的产品能力和公司文化与半导体行业非常契合，因此决定于2018年加入Park Systems。
天时、地利、人、产品、市场相结合，快速取得成功5年内，Park Systems在中国销售了多台在线原子力显微镜。
如今，AFM广泛应用于半导体领域的研发、制造和质量分析，Park Systems已成为半导体行业原子力显微镜的领导者。
回顾公司一路走来的发展历史，张先生将其概括为两个主要阶段：AFM先驱、2006年出现的Park Systems、Gerd Binnig（IBM阿尔马登研究中心）、Christoph Gerber（IBM苏黎世研究实验室）。
和 Calvin Quate 教授（斯坦福大学）共同发明了原子力显微镜，并于 2016 年 3 月在《物理评论快报》上共同发表了研究结果。
此时，Park Systems 的创始人兼首席执行官 Sang-il 博士是Calvin Quate 教授实验室的研究生参与了这项研究。
并见证了第一台AFM的诞生。
获得博士学位后，Park博士意识到AFM技术的广泛应用潜力，并于2008年创立了Park Scientific Instruments（PSI）。
PSI是世界上第一家位于硅谷的商业AFM公司。
它取得了巨大的成功。
同时，Calvin Quate教授是PSI的联合创始人之一，也是该公司的董事会成员。
△原子力显微镜的发明是测量技术和纳米刻蚀的重大突破，推动了纳米科学技术的发展。
为了表彰这项技术的发明者所做出的巨大贡献，被誉为第二届诺贝尔奖的卡维里纳米科学奖被授予了格德·宾尼格（Gerd Binnig）、克里斯托夫·格伯（Christoph Gerber）和卡尔文·奎特（Calvin Quate）。
上图为颁奖典礼纪念品：Calvin Quate（中）、Dr. Park（左）。
2016年，Park博士将发展良好的PSI出售给Thermo Spectra。
回到韩国后，Park 博士创办了他的第二家 AFM 公司。
——PSIA。
自此，公司步入了快速发展的快车道。
2010年，我们成功研发出HDD专用AFM；在公司成立10周年之际，我们正式更名为Park Systems，并一直沿用至今； 2017年，我们成功研发出半导体专用的AFM； ，我们寻求与IMEC合作；中，我们依靠与客户的牢固关系，密切的合作导致了满足客户期望的AFM的开发。
Park System的客户大部分是全球排名前20的半导体公司以及亚洲、欧洲和美洲的国家研究型大学。
在10纳米先进工艺测量领域取得了丰硕成果，占据领先地位。
半导体市场领导地位...△Park Systems中国区销售总裁张家荣“坚持把AFM解决方案带给工业客户是一条艰辛而漫长的路。
正是因为这一年来一直存在的这份坚持，Park只有这样做才能我们在众多竞争对手中脱颖而出。
”张总强调，Park的核心竞争力是拥有完整的产品线，能够应对不同客户群体的个性化应用。
它是专门针对客户需求而开发的，其产品的影响力高度适应半导体。
该领域的顶级客户表示，“成功的关键是深厚的AFM技术储备和丰富的行业知识，两者缺一不可。
”谈到未来，Park System的长期目标是提供结合AFM和光学的计量解决方案。
张先生介绍，Park System将AFM技术延伸，与光学领域的技术相结合，向工业领域深耕，例如提供低噪音、高通量的原子力显微镜（NX-Wafer）。
其自动缺陷审查（ADR）技术具有纳米级分辨率，可以在三维空间中可视化缺陷。
是第三代半导体制造的关键设备。
另一个例子是将用于故障分析和大样本研究的NX20纳米计量工具引入半导体行业，以实现大批量、精确和高度可重复的测量。
它采用真正的非接触式扫描方法，确保样品损伤最小化，缺陷、形貌分析精确。
同时，Park System不忘初心，继续将AFM技术应用于大学或研究机构的基础研究中，从源头上改变了科研界对AFM使用的看法。
例如，针对纳米科学研究和开发而出现的新型全自动AFM FX40，集成了全自动技术，并配备了智能学习人工智能软件。
它是世界上第一台可以自动化所有初步设置和扫描过程的智能AFM。
此次上海实验室的扩建，正在为未来打下坚实的基础。
“自2018年园区北京分公司成立以来，我们就决心投入更多的资源来运营中国市场，今年上海实验室的扩建也是计划的一部分。
我们的初衷一直是为客户提供最高品质的 AFM 和专业的售后服务。
他表示，“Park Systems上海实验室位于虹桥商务区核心区，总建筑面积近平方米，拥有12英寸NX-Wafer自动化在线机原型机、8-英寸 NX20 原型机和研究型 NX10 原型机。
”在不久的将来，全自动研究型FX40机器原型也将安装。
近期，Park Systems新收购的德国Accurion品牌的EP4成像椭偏仪和主动隔振平台产品也将安装。
这些产品和应用解决方案可以为客户从采购设备前的研究检测到售后阶段的各种应用需求提供完整的技术支持，帮助我们的客户解决各自测量和测试应用中的问题，提高工艺水平，提高产品质量。
研究和开发效率。
。
“Park System一直以其高端的产品品质和快速优质的售后服务获得客户的认可。
如今，大中华区团队已有近40人，其中一半以上在加入前拥有AFM经验。
我们原厂聘用的新人 拥有超过15年经验的老师在中国市场的5个实验室提供演示机的逐步指导和反复实践 除了更新硬件之外，上海实验室的扩建也是如此。
在中国也强调售后服务，拥有专业的服务团队，加强并实行现场直接维修服务和当地指定配件备货管理。
“这里我们还可以为园区内部人员和客户人员提供培训。
Park Systems不断创新。
我们总是谈论Park System的一系列技术创新，以解决传统AFM技术的局限性。
成像/计量工具的本质是准确性、速度和易用性。
传统AFM中，管式扫描仪常常导致响应缓慢和图像失真；敲击方式会导致探头尖端磨损和样品损坏；众多的参数设置、激光聚焦等繁琐的操作一直被业内人士诟病，这些都严重影响了AFM的进一步应用拓展。
“原子力显微镜中的Park System。
在漫长的开发过程中，我们始终贯彻最初的理念，那就是为我们的客户打造最准确、最易用的AFM。
为此，创新的产品功能，如True我们希望通过我们的不断努力，Non-Contact?模式和众多自动化软件能够成为任何人都可以操作的更加友好的通用成像/测量工具。
张说。
△ Park NX-Wafer洁净室现场演示创新技术“三轴分离扫描仪技术和非接触模式”重新设计了AFM结构，将XY扫描仪和Z扫描仪分开，两个独立的扫描仪灵活移动样品和探针两组扫描仪分别配备了柔性铰链和高功率堆叠式压电执行器。
快速z扫描仪提供了真正非接触模式的可能，实现探头与样品之间真正的非接触，避免了形貌扫描过程中探头磨损造成的图像失真，在实现快速成像的同时也大大提高了测试水平△Park Systems中国区销售总裁张家荣创新性的“扫描速度和扫描分辨率优化处理技术”，开发出智能自适应扫描系统（Adaptive Scan），适应用户的扫描需求。
根据对速度和扫描分辨率的不同要求进行优选，无需设定或猜测真实的扫描速率是多少，充分发挥AFM在研究或生产中的效率。
同时开发了软件系统“Park SmartScan”。
只需点击三下鼠标即可获得完整的地形图：首先找到感兴趣的目标区域，然后设置所需的像素、扫描尺寸、精度/速度趋势选择，最后点击IMAGE导出图片。
如今，纳米技术已成为几乎所有高科技产业发展的基础。
纳米技术要为高科技产业做出应有的贡献，首先必须建立纳米计量学。
Park Systems拥有先进的AFM技术，这对纳米技术的发展至关重要。
重要的。
“为科学家和工程师实现纳米级的进步，帮助他们解决世界上最紧迫的问题，推动科学发现和工程创新的不断进步”是Park System义不容辞的使命。
张先生坚定地表示，中国拥有世界上最好的投资市场之一。
无论是半导体产业市场还是高校等研究机构的研究市场都备受关注。
Park Systems上海实验室将通过AFM技术为此做出科技贡献。
迎来跨越式发展。
△Park Systems中国区销售总裁张家荣 关于Park原子力显微镜公司 作为当今发展最快、世界一流的原子力显微镜系统制造商，Park原子力显微镜（Park Systems）一直与时俱进，致力于为客户提供服务于化学、材料、物理、生活等领域。
科学、半导体和数据存储等行业的研究人员和工程师提供了广泛的产品。
“真诚协助科学家和工程师解决世界上最紧迫的问题，不断推动科学发现，坚持拓展工程创新边界，不断实现纳米级进步”一直是帕克原子力显微镜的使命。
如今，Park Systems 的客户包括大多数世界领先的半导体公司以及亚洲、欧洲和美洲的国家研究型大学。
Park Atomic Force Microscopy（Park Systems）是韩国证券交易所（KOSDAQ）的上市公司，总部位于韩国水原，在美国、墨西哥、德国、法国、英国、大中华区、日本、新加坡和印度。
了解更多请访问：△扫描二维码关注公众号联系电话： 园区北京分公司 园区上海实验室上海，北京市海淀区彩河坊路8号天创科技大厦园区广州实验室，广州市天河区申长路虹桥绿谷C栋，广州市天河区五山路河北文创园B栋【最新会议】6月13日线上会议揭秘“6-8英寸高品质”“SiC研磨抛光技术解决方案”主题会议现邀请北京特思迪孙占帅部长、姜继乐博士，以及泛半导体产业投资和融资巨头：安信投资总经理王永刚参加会议，并将重点讨论抛光和抛光设备/工艺。
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