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厦门云天细间距光刻工艺突破2um L-S

发布于：2024-06-06 编辑：匿名来源：网络

云天半导体厦门云天半导体继9月初正式投产8条12英寸“晶圆级封装及无源器件生产线”后，经过不懈努力团队的8英寸晶圆Fine Pitch光刻工艺开发终于突破2/2um L/S大关；以下为部分工艺条件及结果显示：胶厚均匀度3.4% CD开孔均匀度3%，在测试车面罩下测试长线和短线均消除。

从而无论是正性光刻胶还是负性光刻胶下，2um L/S以下的线条都完整清晰，不存在显影不干净、显示过度等外观异常现象； 2um短线（光刻后） 2um长线-负胶（光刻后） 2um长线-正胶（光刻后）SEM剖面图如下，胶水厚度：3.um，CD上开口：2.um，CD下开口：1.um，侧壁垂直度约85.2°； 2um孔径SEM2um长线经过电镀和种子层蚀刻后，线宽和线距均在工艺控制范围内，无线路剥落或短路现象。

外观异常； 2um长线-负胶（电镀后） 2um长线-负胶（PVD蚀刻后）厦门云天半导体目前量产最小L/S为10/10um，最小工程样品容量L/S为7/7um， 2/2um L/S工艺的成功开发是二期线之后的重大突破。

目前2/2um L/S工艺还需要进一步开发和验证，为后续导入量产做好准备。

厦门云天半导体将继续奉行“创新、卓越、协作、奋斗”的精神，不断挑战极限，勇攀高峰！晶鑫在线研讨会将于12月2日14:00举行。

晶心线上研讨会年末有大礼送！以“复杂动荡的国际形势下中国半导体制程供应链对策”为主题，邀请了宏芯气体、微芯新材、原台积电、中芯国际等技术专家共同探讨光刻材料、散装供应链热点气体和特殊气体材料等点。

还有圆桌论坛，云集大牌专家，剖析今年热点话题，谋划未来发展。

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