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Exyte：创新超纯水解决方案荣获“科技之星”奖

发布于：2024-06-06 编辑：匿名来源：网络

超纯水（UPW）是半导体生产工艺中最重要的元素之一，主要用于工艺化学溶液的配制以及晶圆清洗和浸泡光刻。

半导体晶圆在加工过程中暴露于超纯水。

因此，超纯水的质量对晶圆生产工艺和产品良率有着重要影响。

随着半导体行业的快速发展和生产工艺的升级，对超纯水的各项指标的要求也在不断提高。

UPW 创新解决方案实现了低于 1 ppt 的超纯水指数（硼）。

近日，Exyte中国UPW创新解决方案荣获上海虹桥机场经济示范区颁发的“科技之星”奖。

该奖项表彰了Exyte在超纯水技术领域的科技成果。

在其负责的半导体项目中，Exyte及其合作伙伴为客户实现了低于1ppt的超纯水指数（硼）目标，高于目前低于30ppt的行业水平。

该技术指标在国内半导体项目中首次实现，为行业发展注入新动力。

图：Maheswaran Nair（Exyte中国工程工艺部经理）获奖 Exyte作为该项目的EPC（能源工程承包商），在项目之初根据客户的要求设定了超纯水硼小于1ppt的指标规划和设计。

这也是中国半导体项目使用的第一套纯水系统。

它需要创新和升级的工艺设计，结合采购、施工和调试阶段的丰富经验和高水平的项目管理能力。

“科技之星”的申报者必须满足一系列严格的条件，如行业知名度、申报项目和课题的专业性、企业自身的文化和科技创新氛围等。

“半导体行业要求严格”我们积极与客户和供应商合作，结合当前的应用科学来开发高度创新的解决方案并取得成功。

” Exyte东北亚区工程总监Arend Suhr表示：“‘技术之星’奖项是对我们Exyte中国技术团队应对挑战性设施和创新工作的解决方案的高度认可。

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