金川兰芯电子半导体封装新材料生产线项目主体已封顶
06-06
1月10日，国家科学技术奖励大会在北京召开。
无锡华润，华润微电子股份有限公司旗下华润科技股份有限公司（以下简称“华润上华”）参与的“高性能MEMS器件设计与制造关键技术及应用”项目》）荣获国家科学技术进步奖二等奖。
该项目由东南大学、江苏英特森科技有限公司、无锡华润尚华科技有限公司合作完成。
项目成果针对我国微机电系统（MEMS）产业链的关键技术问题，进行了系统研究。
并研发了MEMS设计技术和设计工具、制造工艺和在线测试以及高性能压力传感器技术，推动了我国MEMS技术的产业发展。
该成果形成了高精度硅各向异性腐蚀模拟、厚阻光刻工艺模拟、工艺流程模拟等11个软件模块，已商品化，拥有国内40多家用户，并出口美国、日本、关键技术已应用于华润华润上华规模化生产线，形成批量生产能力，为国内外用户代工超过10万件，配套生产压力传感器系列、麦克风系列等MEMS器件。
产品已应用于智能电子、工业控制、环境监测等领域。
在该项目中，华润华润上华专门研发了MEMS表面加工、本体加工、键合加工等一整套制造工艺技术和测试技术，优化了制造工艺和工艺，实现了MEMS制造工艺、在线测试技术、 OEM 服务。
硅基MEMS制造工艺仿真和工艺优化技术大大减少了工艺条件和参数的重复测试，降低了工艺开发成本，优化了工艺条件和工艺，缩短了制造工艺开发周期。
“MEMS具有较强的应用渗透力，但我国MEMS产业化进程缓慢，设计和制造的核心技术被国外垄断。
”华润上海副总经理苏伟表示：“我们很高兴看到公司在MEMS领域深耕多年，很高兴能继续与产业链合作伙伴合作，实现MEMS国产化目前，华润华润的MEMS工艺技术正在按计划从成熟的6英寸向8英寸转移，我们期待为更多的IC设计公司提供MEMS产品和服务。
华润微电子是中国领先的半导体公司，拥有芯片设计、晶圆制造、封装测试等全产业链，主要以IDM模式运营。
企业，自2008年以来，华润微电子连续被工信部评为中国电子信息百强企业之一。
公司主营业务分为两大业务板块：产品与解决方案、制造与服务。
现已形成无锡、上海、重庆、深圳协调发展的多区域业务布局，并在主要业务领域掌握了一系列自主知识产权。
，核心技术具有国内领先技术水平。
公司专注于功率半导体和智能传感器领域，为客户提供一系列半导体产品和服务，立志成为全球领先的功率半导体和智能传感器产品和解决方案供应商。
关于无锡华润上华科技Fab2有限公司 无锡华润上华科技Fab2有限公司是华润微电子股份有限公司（“华润上华”）旗下从事开放式晶圆代工??的中国模拟晶圆代工专业公司在中国模拟晶圆代工行业中处于领先地位，拥有20多年服务中国及海外客户的经验。
公司为客户提供主流、成熟工艺技术的晶圆代工服务。
目前是中国大陆特种工艺平台的主要提供商。
公司月产能8英寸晶圆6.5万片，6英寸晶圆月产能超过21万片。
芯片可以为客户提供更丰富的工艺平台和代工服务。
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