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ASML柏林工厂火灾，DUV和EUV生产或受影响

发布于：2024-06-06 编辑：匿名来源：网络

2020年1月3日，ASML位于德国柏林的工厂发生火灾。

部分设施受损，但未造成人员伤亡。

该工厂原属于光学模块公司Berliner Glas，于2016年被ASML收购。

它负责为ASML的光刻系统制造组件，包括晶圆台和夹具、掩模卡盘和镜块。

近日，ASML对其德国柏林工厂的情况进行了初步评估。

目前，DUV光刻机相关部件已恢复生产，供应出现暂时中断的情况。

“我们仍在完成该生产区域的恢复计划，并确定如何在输出计划和现场服务中尽量减少对 EUV 客户的影响。

”任何潜在的影响。

ASML柏林工厂火灾，DUV和EUV生产或受影响

“此外，火灾影响了EUV系统中一个模块晶圆夹具的部分生产区域，目前正在按计划恢复，以及如何尽量减少对EUV客户的影响，包括供应规划和相关服务。

”ASML表示1月7日，其深紫外（DUV）和极紫外光刻（EUV）生产线均受到影响，但DUV系统的影响是可恢复的，EUV系统仍处于离线状态。

制造芯片的关键设备——光刻机，ASML占据了45nm以下工艺光刻机85%的市场份额，在EUV（极紫外光刻技术）光刻机领域拥有绝对垄断地位。

%的份额是推动5nm/7nm工艺节点的关键。

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