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韩媒：韩国芯片厂商将减少EUV工艺核心溶剂进口

发布于：2024-06-08 编辑：匿名来源：网络

据韩媒TheKorea EconomicDaily全球版报道，韩国芯片厂商预计将减少EUV工艺核心溶剂进口，因为本土企业已经成功批量生产了该材料。

业内消息人士称，石化和电子材料制造商 Jaewon Industrial Co. 已将丙二醇甲醚乙酸酯 (PGMEA) 商业化，这是一种半导体行业常用的硅晶圆表面应用溶剂。

粘合剂。

Jaewon表示，该公司是第一家大规模生产PGMEA的韩国公司，尽管有些公司已经成功开发了这种溶剂。

PGMEA由半导体中使用的稀释剂制成，用于清洁EUV曝光期间不发生EUV光敏反应的部件上的光刻胶。

当在曝光过程之前将溶剂施加到晶圆上时，溶剂还有助于以较小的量均匀地分布感光材料。

通过 EUV 工艺制造的半导体具有非常精细的电路，因此非常小的杂质会降低产量。

EUV工艺要求PGMEA纯度达到99.0%或更高。

日本大赛璐公司等厂商在生产这种纯PGMEA方面一直占据主导地位，而此前韩国公司拥有的技术只是提高了PGMEA的纯度，而不是将丙二醇单甲醚（PGME）合成为PGMEA。

Jaewon 开发了自己的 PGMEA 合成技术。

公司去年将PGMEA产能扩大至3万吨，实现规模化生产。

韩媒：韩国芯片厂商将减少EUV工艺核心溶剂进口

该公司预计韩国芯片制造商将在今年上半年开始将其 PGMEA 用于 EUV 工艺，从而每年减少约 1 亿韩元（10,000 美元）的溶剂进口。

一位公司消息人士称，成立于2009年的Jaewon将考虑在美国生产PGMEA，并将在美国建立电池材料工厂。

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