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南大光电：已建成2条ArF光刻胶生产线

发布于：2024-06-06 编辑：匿名来源：网络

新闻链接：日本10.7亿元研发半导体，与中国半导体竞争。

近日，南大光电在业绩说明会上表示，公司已建成2条ArF光刻胶生产线。

ArF光刻胶产品开发及产业化项目目前已完成25吨光刻胶生产线建设。

ASML浸没式光刻机等主要先进光刻设备已安装并投入使用。

行业提示：截至2020年，国内光刻胶自给率： - g线/i线光刻胶仅为20% - KrF光刻胶不足5% - ArF光刻胶完全依赖进口南大光电进一步表示，年底，公司自主研发的ArF光刻胶产品顺利通过下游客户使用认证，成为国内首个通过产品验证的ArF光刻胶。

所有光学性能均达到商业胶水的水平，可实现先进的光刻胶。

公司产品替代国产，实现产业化关键突破，获得首个国产光刻胶订单，并实现小批量销售。

据悉，南大光电的光刻胶产品目前正在发往多个下游客户进行验证，验证进展顺利。

从目前的测试结果来看，ArF光刻胶的性能与日本产品处于同一水平，并且实现了ArF光刻胶的国产化和国产化，打破了长期被国外垄断的被动局面。

南大光电：已建成2条ArF光刻胶生产线

待测ArF光刻胶可用于逻辑芯片和存储芯片。

南大光电表示，公司研发并产业化的ArF光刻胶是国内最先进的光刻胶。

今年光刻胶项目的主要任务是完成主要客户的认证，明年开始量产，力争尽快实现盈利。

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