新闻链接:日本10.7亿元研发半导体,与中国半导体竞争。
近日,南大光电在业绩说明会上表示,公司已建成2条ArF光刻胶生产线。
ArF光刻胶产品开发及产业化项目目前已完成25吨光刻胶生产线建设。
ASML浸没式光刻机等主要先进光刻设备已安装并投入使用。
行业提示:截至2020年,国内光刻胶自给率: - g线/i线光刻胶仅为20% - KrF光刻胶不足5% - ArF光刻胶完全依赖进口 南大光电进一步表示,年底,公司自主研发的ArF光刻胶产品顺利通过下游客户使用认证,成为国内首个通过产品验证的ArF光刻胶。
所有光学性能均达到商业胶水的水平,可实现先进的光刻胶。
公司产品替代国产,实现产业化关键突破,获得首个国产光刻胶订单,并实现小批量销售。
据悉,南大光电的光刻胶产品目前正在发往多个下游客户进行验证,验证进展顺利。
从目前的测试结果来看,ArF光刻胶的性能与日本产品处于同一水平,并且实现了ArF光刻胶的国产化和国产化,打破了长期被国外垄断的被动局面。

待测ArF光刻胶可用于逻辑芯片和存储芯片。
南大光电表示,公司研发并产业化的ArF光刻胶是国内最先进的光刻胶。
今年光刻胶项目的主要任务是完成主要客户的认证,明年开始量产,力争尽快实现盈利。
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