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金宏气体成功试制集成电路用电子级正硅酸乙酯

发布于：2024-06-06 编辑：匿名来源：网络

近日，金宏气体总部成功试制集成电路用电子级正硅酸乙酯（TEOS）。

这一突破标志着我公司在解决行业“卡脖子”问题上又迈出了坚实的一步，近期将大规模市场化生产TEOS，用国产替代进口集成电路电子材料，实现自主化。

在可控等方面作出新贡献。

金虹气体集成电路用电子级原硅酸乙酯的研发及产业化是苏州市相城区唯一入选“江苏省科技成果转化专项资金支持项目”的代表。

该财政支持项目总体具有科技含量高、社会影响和贡献大的特点，因此获得了江苏省年度财政预算安排中单笔资助金额最大的项目，也引起了社会各界的关注。

电子级TEOS是一种高端微电子化学品，用于制备集成电路外延材料。

也是第三代半导体材料和新兴半导体产业的重要前体材料。

生产过程中有控制金属离子杂质含量等要求。

极高。

金宏气体成功试制集成电路用电子级正硅酸乙酯

金宏气体凭借十余年电子气体研发经验，攻克了电子级TEOS提纯工艺中金属离子杂质难以去除、痕量金属检测困难、设备易污染等诸多技术难题、管道、包装容器，形成了一支具有独立知识的团队。

专有的电子级TEOS净化、检测、过滤、灌装技术试产成功后，引起了业界的广泛关注。

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