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核心技术突破！国产200kV透射电镜进入小批量试产

发布于：2024-06-06 编辑：匿名来源：网络

环球网近年来，中国在科技自力更生、自力更生方面迈出了坚定的步伐，核心技术不断突破，高新技术不断涌现。

终端仪器和设备。

近日，有消息称，苏州博众仪器科技有限公司（简称博众仪器）自主研发的kV级透射电镜BZ-F已进入小批量试制阶段，这标志着第一台国产kV透射电镜。

透射电镜被列为限制类“35项关键技术”之一。

它是半导体、生命科学、材料科学等领域不可或缺的高端科学仪器，国内市场需求巨大，但长期依赖进口，国产替代势在必行。

博众仪器透射电镜装配车间自成立以来，博众仪器专注于透射电镜产品的研发，攻克了电子光学系统设计、超精密加工与装配、轴联调、和纳米级精密测角仪。

一系列核心技术，今年7月完成工程样机开发，达到预期目标，并在半导体、生命科学、材料科学等领域得到应用和验证。

此后，公司又开发了第二代透射电子显微镜产品BZ-F，其性能指标与国外同类电子显微镜相当，首个商品化产品即将交付。

在此期间，公司实现了超高稳定高压电源、场发射电子枪、热场（肖特基）电子源、高稳定恒流源等核心技术和关键部件的自主控制。

左图一：电子源尖端及高温颜色对比左图二电子加速陶瓷管右图一 kV热发射电子枪右图二超高稳定高压电源据了解， BZ-F产品可根据用户需求选配热发射电子枪或热场发射（肖特基）电子枪，可实现EDS、STEM等多种功能。

除kV外，其工作电压还可切换为80kV、kV等等级。

BZ-F的镜筒采用四级聚光照明系统设计，可实现微米光束与纳米光束、平行光束与会聚光束模式之间的切换。

透射电子显微镜的发展得到了社会各界的广泛关注和支持。

近日，全国政协委员、中国物理学会常务理事、清华大学物理系教授段文辉院士与清华大学物理系教授陈曦，参观博中仪器，考察国产透射电镜产业化进展情况，回顾博中仪器取得的重大成就。

对此给予高度评价，充分肯定了民营企业积极参与国家战略，并对加快市场推广提出殷切期望。

段文辉院士视察博众仪器。

苏州博众仪器科技有限公司表示，未来将继续加大研发投入，不断提升产品性能和技术水平，同时拓展基于电子束核心技术的多种产品为我国提供高端仪器仪表。

为发展注入新活力！【全年计划】ACT雅氏国际商报旗下两本优秀杂志：《化合物半导体》和《半导体芯科技》全年研讨会计划已出炉。

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